您好，欢迎访问仪器信息网
注册
搜全站
搜展位
深圳市蓝星宇电子科技有限公司

关注

已关注

金牌5年 金牌

已认证

粉丝量 0

400-860-5168转4527

仪器信息网认证电话，请放心拨打

全部分类
首页
最新动态
产品中心
资料中心
访客留言
联系方式
关于我们

公司简介

资质荣誉
当前位置： 蓝星宇 > 无掩模光刻机/直写光刻机 > 奥地利SmartNIL紫外纳米压印机EVG7200

奥地利SmartNIL紫外纳米压印机EVG7200

品牌：
产地： 奥地利
型号： EVG7200
报价： 面议
获取电话
留言咨询

核心参数

曝光模式： 投影式

产地类别： 进口

分辨率： 详见资料

光源： 详见资料

光源波长： 详见资料

光强均匀性： 详见资料

曝光面积： 详见资料

产品介绍
简介
EVG7200紫外纳米压印系统由奥地利SmartNIL开发，专为纳米级图形转移设计，适用于芯片至150mm晶圆的各种衬底。该系统具备高生产效率（最高达40片晶圆/小时）、紫外光曝光功能，并支持正面对准或正反双面对准。其应用领域广泛，包括LED制造、微流体、生物技术等。主要技术参数涵盖200mm的最大晶圆尺寸、2um的压印结构分辨率以及20纳米的残留层厚度，确保高质量的纳米压印效果。

奥地利SmartNIL紫外纳米压印：EVG7200


一、设备原理：

EVG7200紫外纳米压印用于从印章到衬底的紫外图形转移。EVG720自动纳米压印系统允许衬底和印章的尺寸从很小的芯片到150mm直径的圆片范围。用于纳米技术应用的配置包括印章机械释放、程序控制高或低的接触压力。EVG独有的吸盘设计支持软印章和硬印章压印，可以保证大面积纳米压印的均匀压力，从而保证获得很高的良率。



二、应用范围

纳米压印技术主要应用于如下方面：

LEDS 制作，LED PSS纳米压印工艺，LED纳米透镜阵列；微流体学；芯片实验室；抗反射层； 纳米压印光栅； 莲花效应；光子带隙；光学及通讯：光晶体，激光器件；生物技术解决方案：医药分析，血液分析，细胞生长。


三、主要特点及技术参数：

1、主要特点：

。 最大产量高达40wafers每小时；

。 紫外光曝光；

。配备专用的紫外纳米压印工具；

。 正面对准或者正反双面对准；

。适用衬底：Si，玻璃，化合物半导体；

。硬紫外纳米压印，软紫外纳米压印、微接触压印。


2、技术参数

  • 晶圆尺寸：最大200mm

  • 大面积压印：最大200mm

  • 产能：最大可到40wafers/小时

  • 印章制备：支持工作模具制备，支持自动楔形脱模

  • 曝光：曝光光源：高功率窄带曝光；波长：300-500nm, 光强：~ 400 mW/cm2，光强均匀性：20%（6寸）

  • 对准模块：机械对位精度±200um，光学对位精度±3um

  • 压印微结构尺寸范围：40nm-2um；

  • 压印结构分辨率：≤40纳米

  • 压印残留层厚度：≤20纳米

  • 滚压印速度：2mm/s-16mm/s, 可以调节

  • 图形保型度：≥90%

  • 支持倾斜光栅压印，倾斜度45-90°

  • 上料系统：3料盒台，现场可升级

  • SECS/GEM II: 可选。


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 无
免费培训： 免费安装及技术培训
免费仪器保养： 6个月一次
保内维修承诺： 经确认质量问题免费更换
报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修
问商家

激光直写光刻机EVG7200的工作原理介绍

激光直写光刻机EVG7200的使用方法?

EVG7200多少钱一台?

激光直写光刻机EVG7200可以检测什么？

激光直写光刻机EVG7200使用的注意事项？

EVG7200的说明书有吗？

激光直写光刻机EVG7200的操作规程有吗？

激光直写光刻机EVG7200报价含票含运吗？

EVG7200有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。

联系方式

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

公司地址

深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902

客服电话

400-860-5168转4527
展位推荐
EVG720紫外纳米压印机

EVG720紫外纳米压印机
Nikon 尼康 光刻机 NSR-4425i

Nikon 尼康 光刻机 NSR-4425i

奥地利EVG 紫外光刻机EVG620

奥地利EVG 紫外光刻机EVG620
EVG620 单面/双面光刻机(带有压印功能）

EVG620 单面/双面光刻机(带有压印功能）
深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供奥地利SmartNIL紫外纳米压印机EVG7200，nullEVG7200产地为奥地利，属于进口无掩模光刻机/直写光刻机，除了奥地利SmartNIL紫外纳米压印机EVG7200的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多无掩模光刻机/直写光刻机,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527，售前、售后均可联系。
推荐产品
供应产品
相关品类

手机版:

奥地利SmartNIL紫外纳米压印机EVG7200

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

查看电话

沟通底价

提交后，商家将派代表为您专人服务

获取验证码

{{maxedution}}s后重新发送

获取多家报价，选型效率提升30%
提交留言
点击提交代表您同意 《用户服务协议》 《隐私政策》 且同意关注厂商展位
联系方式：

公司名称： 深圳市蓝星宇电子科技有限公司

公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527

主营产品：

化学气相沉积设备 原子层沉积设备 无掩模光刻机/直写光刻机 电子束曝光机 有掩模光刻机 匀胶机

友情链接：

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

仪器信息网APP

展位手机站