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美国 OAI 光刻机 Model 200 型桌面掩模对准器系统
完全手工操作
。输出光谱范围:Hg: G(436海里),H(405海里),I(365nm)和310nm线，Hg-Xe: 260nm和220nm或LED: 365nm, 395nm, 405nm
。衬底从块大小8平方
。互换抛掷和面具
。紫外灯功率范围从200到2000 w
。选择紫外LED光源(365 nm和405 nm)
。空气轴承真空吸盘
。接近(15-20um): & lt; 3.0 - 5.0, 软接触:2.0um，硬触点:1um和真空接点:≤0.5um
。对齐模块X, Y,和Z轴和θ
。双通道光学反馈
。只提供正面接触w / IR选项
。可用在桌面选项只适用于研发及独立工作
。.占用空间小
。适用于生物学、微机电系统、半导体和 Microfludics CLiPP应用程序
Model 200 Table Top Mask Aligner System
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企业名称
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300789207446B
成立日期
2006-05-17
注册资本
1080万
经营范围
机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址
深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
客服电话
公司名称： 深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527
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