技术参数
。曝光面积:4 英寸(或 6 英寸)
。曝光波长:365nm: 40mW/cm,405nm:20-40mW/cm2
。分辨力:1 μm
。正面对准采用双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍
物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
。底面面对准:采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像,物镜轴距范围 10mm-148mm
。对准精度:±2.5μm(双面,片厚 0.8mm),± 0.6μm(单面)
。掩模尺寸: 3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸(6 英寸配置)
。样片尺寸:2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸(6 英寸配置) ,厚度 0.1mm--2mm
。曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量
。照明不均匀性: 3%( Ф100mm 范围),5%( Ф150 mm 范围)
。掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度
。汞灯功率:350W(直流,进口)
。最大胶厚:350 μm (SU8 胶,用户提供检测条件)
。光源平行性:3.5°
外形尺寸:1300mm(长)x1000mm(宽) x1800mm(高)
配置
(1)曝光头(两套)
。冷光椭球镜
。350 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
。XYZ 汞灯调节台
。冷却风扇
。光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜1、冷光反射镜 1、反射镜 2
(2)对准工件台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构,自动完成
。样片调焦机构,气缸自动调
。承片台:2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸(6 英寸配置)
。掩模夹:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸(6 英寸配置)
(3)双目双视场对准显微镜(可以选择带 CCD 型,目镜和监视器可同时观测)
。光源、电源
。双目双视场对准显微镜主体
。目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
。物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
。CCD 光学系统(选配件)26
。XYZ 底面对准工件台
(4)底面 CCD 对准系统
。光源、电源
。成像光学系统
。数据采集卡
。CCD
(5)电控系统
。汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制柜桌
。计算机系统(21 英寸宽屏液晶显示器)
(6)气动系统
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪表
(7)其他附件
。真空泵一台(无油泵)
。空压机一台 (音静泵)
。管道