1.技术特征——非常适合工厂(效率高,操作傻瓜型,自动化程度高)和高校教学科研(可靠性好,演示方便)采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能,自动分离对准间隙和消除曝光间隙,采用 350W 进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度。设备外形美观精制,性能非常可靠,自动化程度很高,操作十分方便。
2.技术参数
。曝光面积:4 英寸
。曝光波长:365nm
。分辨力:0.8μm
。对准精度:±0. 8μm
。掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm
。掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
。样片尺寸:直径 ±10mm-- ±100mm(各种不规则片) 厚度 0.1mm--5mm(可扩展为 15mm)
。曝光方式:定时和定剂量18
。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能
。照明不均匀性: 3%(±100mm 范围)
。双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍
物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍
。调平接触压力通过传感器保证重复
。数字设定对准间隙和曝光间隙
。具备压印模块接口,也具备接近模块接口
掩模相对于样片运动行程:
X: ± 5mm; Y: ± 5mm; Thelta: ± 6o
。焦厚:400μm(SU8 胶,用户提供检测条件)
。光源平行性:3.5 o
。曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面温度<35 o
。单层曝光一键完成
。采用球气浮自动找平
。汞灯功率:350W(直流,进口汞灯)
3.外形尺寸:1200mm(长)x900mm(宽) x1750mm(高)
4.配置
(1)曝光头
。冷光椭球镜
。350W 进口直流高压汞灯(进口)
。XYZ 汞灯调节台
。冷却风扇
。光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜1、冷光反射镜 1、反射镜 2
(2)对准工件台
。掩模样片整体运动台
。掩模样片相对运动台19
。转动台
。样片调平机构,自动完成
。基片抽拉式上下机构
。样片调焦机构,电机自动调
。承片台 4 个:?15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸(可按用户要求增减)
。掩模夹 4 个:3 英寸、4 英寸、5 英寸(可按用户要求增减)
(3)对准显微镜
。光源(配备品 2 只)、 电源
。双目双视场对准显微镜主体
。目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
。物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
。CCD 对准系统,21 寸液晶显示器
(4)电控系统
。汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制柜桌
(5)气动系统
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪表
(6)其他附件
。真空泵一台
。空压机一台
。管道