DS-2000/14G 型无掩模单面光刻机

1．技术特征

.采用 DMD 作为数字掩模，像素数 1024×768 或 1920×1080 或 2560x1600 三种选配

.采用缩小投影光刻物镜成像，分辨力 1um。

.采用专利技术——积木错位蝇眼透镜实现均明。

.采用进口精密光栅、进口电机、进口导轨、进口丝杠实现精确工件定位和曝光拼接，可适应 100mm?100mm 基片。

.采用 CCD 检焦系统实现整场调平、自动逐场调焦或自动选场调焦曝光。

.具备对准功能

2．技术参数

.光源：350W 球形汞灯（曝光谱线： i 线）或紫外 LED；

.照明不均匀性：2%；

.物镜倍率：7.6 倍（或 14 倍与选择的 DMD 像素尺寸有关）

.曝光场面积：1mm×0.7mm （或 1.9mm×1.8mm ，或 2.5mm×1.6mm，与选择的 DMD 像素数有关）?

.光刻分辨力：1 μm

.工件台运动范围：X：100mm、 Y：100mm；

.工件台运动定位精度：± 0. 5μm；

.调焦台运动灵敏度：1μm；

.对准精度：± 2μm；

.调焦台运动行程：6mm

.检焦：CCD 检测，检测精度 2 微米

.转动台行程：±6°以上

.直写速度：40mm2 /min

基片尺寸

.外径: Ф1mm—Ф100mm，厚度：0.1mm--5mm

3．外形尺寸：840mm（长）x450mm(宽) x830mm（高）

4．配置

（1）照明系统

.350W 直流汞灯（或紫外 LED）、椭球镜、准直镜、蝇眼透镜组、场镜组、365nm 滤光片、气动快门、DMD（美

国德州仪器）、冷却风扇。

.投影物镜 7.6 倍，可根据用户要求另增加一种.

.分辨力 1?m（缩小倍率 7.6 倍）

（2）工件台系统

.X 台：电机驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本 NSK）、导轨 2（日本 THK）、光栅（美国）

.Y 台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本 NSK）、导轨 2（日本 THK）、光栅 2（美国）

.转动台：电机及驱动器（日本乐孜），转动轴系

.Z 台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠、上升导向机构

.承片台：4 英寸（可增加 3 英寸、2 英寸、1 英寸等）

（3）检焦系统

.焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软件

（4）对准系统

.对准光学检测系统、CCD、对准软件

（5）电控系统

.汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、监视器（19 英寸液晶）、接口（6）气动系统

.电磁阀、旋转气缸、减压阀、压力表、真空表

（7）其他附件

.真空泵一台(无油泵)

.空压机一台（静音泵）

.管道