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当前位置： 蓝星宇 > 光学平台 > URE-2000/A12 紫外单面光刻机

URE-2000/A12 紫外单面光刻机

品牌：
产地： 四川
型号： URE-2000/A12
报价： 面议
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核心参数

产地类别： 国产

产品介绍
简介
URE-2000/A12紫外单面光刻机具备300mm×300mm的曝光面积，分辨力为±2μm，对准精度为±2μm，并兼容多种尺寸的掩模和样片。该设备采用1000W直流高压汞灯作为光源，曝光峰值波长为365nm，且具有定时曝光功能。其系统结构包括曝光头、对准工件台、CCD对准显微镜、电控系统及气动系统等部分，适用于半导体制造及微纳加工领域。

URE-2000/A12 紫外单面光刻机

 

1、设备主要技术指标：

(1) 曝光面积： 300mm×300mm；

（2）分辨力：±2μm；

（3）对准精度：±2μm；

（4）掩模尺寸： 7 英寸、9 英寸、13 英寸；

（5）样片尺寸： 6 英寸、8 英寸、12 英寸；

（6）wafer chuck 表面：防止光反射涂层；

（7）掩模样片整体运动范围：X：10mm;Y:10mm；

（8）掩模相对于样片运动行程：X:±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6°；

（9）汞灯功率：1000W（直流）；

（10）曝光能量密度：≥ 10mW/cm 2 ；

（11）曝光峰值波长:365nm；

（12）光源平行度：＜2°；

（13）曝光方式：定时（计时方式 0.1s—9999.9s）；

（14）光刻版夹具兼容性

 

2．技术主要组成部分

（1）曝光头系统包括:

。冷光椭球镜；

。 德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯；

。 XYZ 汞灯调节台；

。 光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜）；

。 冷却风扇。

 

（2）对准工件台系统包括:

。 掩模样片相对运动台；

。（XY），转动台；

。 样片调平机构；

。 样片调焦机构；

。承片台 3 个： 6 英寸、8 英寸、12 英寸；

。 掩模夹 3 个： 7 英寸、9 英寸、13 英寸。

 

（3）CCD 对准显微镜系统包括:

。4 倍显微镜 2 只；

。照明光源 2 套；

。 CCD 相机 2 只；

。22 英寸液晶显示器。

 

（5）电控系统：

。 汞灯触发电源(1000W)；

。 单片机控制系统；

。控制柜桌。

 

（6）气动系统系统包括:

。 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关，电磁阀驱动，气动仪表等

 

（7）其他配置与附件

。真空泵一台；

。空压机一台；

。配套气管 10m；


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 无
免费培训： 免费安装及技术培训
免费仪器保养： 6个月一次
保内维修承诺： 经确认质量问题免费更换
报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修
问商家

光学平台URE-2000/A12 的工作原理介绍

光学平台URE-2000/A12 的使用方法?

URE-2000/A12 多少钱一台?

光学平台URE-2000/A12 可以检测什么？

光学平台URE-2000/A12 使用的注意事项？

URE-2000/A12 的说明书有吗？

光学平台URE-2000/A12 的操作规程有吗？

光学平台URE-2000/A12 报价含票含运吗？

URE-2000/A12 有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。

联系方式

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

公司地址

深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902

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公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527

主营产品：

化学气相沉积设备 原子层沉积设备 无掩模光刻机/直写光刻机 电子束曝光机 有掩模光刻机 匀胶机

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