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深圳市蓝星宇电子科技有限公司

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当前位置： 蓝星宇 > 光学平台 > URE-2000/A8 紫外单面光刻机

URE-2000/A8 紫外单面光刻机

品牌：
产地： 四川
型号： URE-2000/A8
报价： 面议
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核心参数

产地类别： 国产

产品介绍
URE-2000/A8 紫外单面光刻机
 
1、设备主要技术指标：
(1) 曝光面积： 200mm×200mm；
（2）分辨力：≤  2μm；
（3）对准精度：±2μm；
（4）掩模尺寸：5 英寸、7 英寸、9 英寸；
（5）样片尺寸：4 英寸、6 英寸、8 英寸；
（6）wafer chuck 表面：防止光反射涂层；
（7）掩模样片整体运动范围：X：10mm;Y:10mm；
（8）掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6°；
（9）汞灯功率：1000W（直流）；
（10）曝光能量密度：≥ 15mW/cm 2 ；
（11）曝光峰值波长:365nm；
（12）曝光方式：定时（计时方式 0.1s—999.9s）；
（13）调平接触压力通过传感器保证重复
（14）数字设定对准间隙和曝光间隙
（15）具备压印模块接口，也具备接近模块接口
 
2．技术主要组成部分
（1）曝光头系统包括:
。 冷光椭球镜；
。德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯；
。XYZ 汞灯调节台；
。 光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜）；
。 冷却风扇。
 
（2）对准工件台系统包括:
。掩模样片相对运动台；
。（XY），转动台；
。 样片调平机构；
。 样片调焦机构；
。 承片台 3 个： 4 英寸、6 英寸、8 英寸；
。 掩模夹 3 个：5 英寸、7 英寸、9 英寸。
 
（3）CCD 对准显微镜系统包括:
。4 倍显微镜 2 只；
。照明光源 2 套；
。 CCD 相机 2 只；
。22 英寸液晶显示器。
 
（5）电控系统：
。 汞灯触发电源(1000W)；
。 单片机控制系统；
。 控制柜桌。
 
（6）气动系统系统包括:
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关，电磁阀驱动，气动仪表等
 
（7）其他配置与附件
。真空泵一台；
。空压机一台；
。 配套气管 10m；


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 无
免费培训： 免费安装及技术培训
免费仪器保养： 6个月一次。
保内维修承诺： 经确认质量问题，免费更换。
报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修
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光学平台URE-2000/A8的工作原理介绍

光学平台URE-2000/A8的使用方法?

URE-2000/A8多少钱一台?

光学平台URE-2000/A8可以检测什么？

光学平台URE-2000/A8使用的注意事项？

URE-2000/A8的说明书有吗？

光学平台URE-2000/A8的操作规程有吗？

光学平台URE-2000/A8报价含票含运吗？

URE-2000/A8有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。

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公司地址

深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902

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深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供URE-2000/A8 紫外单面光刻机，nullURE-2000/A8产地为四川，属于国产光学平台，除了URE-2000/A8 紫外单面光刻机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多光学平台,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527，售前、售后均可联系。
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公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527

主营产品：

化学气相沉积设备 原子层沉积设备 无掩模光刻机/直写光刻机 电子束曝光机 有掩模光刻机 纳米压印设备 匀胶机

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