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核心参数
产地类别： 进口
日立Hitachi 离子溅射仪 MC1000
特点：
。采用LCD触摸屏，可以更加简便地设定加工条件
。可处理较厚或较大的样品(选配件)
。记忆功能可存储常用加工条件
规格：
| 项目 | 说明 | |
|---|---|---|
| 放电： | 类型： | 磁控二极管放电型(电场垂直于磁场) |
| 电极组成： | 反向平行盘(嵌入磁铁) | |
| 电压： | 最大 0.4 kV DC(直流可变) | |
| 电流： | 最大 40 mA DC | |
| 喷镀速率 *1(最大)： [条件]： 压力：7 Pa 放电电流：40 mA 标靶与样品表面之间的距离：20 mm | Pt 靶(选配件)： | 15 nm/min |
| Pt-Pd 靶(选配件)： | 20 nm/min | |
| Au 靶(选配件)： | 35 nm/min | |
| Au-Pd 靶(选配件)： | 25 nm/min | |
| 样品尺寸： | 最大直径： | φ60 mm |
| 最大高度： | 20 mm | |
| 机械泵： | 135/162 l/min (50/60Hz) | |
| 靶材*2： | Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4) | |
| 电源要求： | 单相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-针插头线缆(3 m) | |
| 尺寸： | 宽度： | 450 mm |
| 长度： | 391 mm | |
| 高度： | 390 mm | |
| 重量： | 主机：约 25 kg 机械泵：约 28 kg | |
镀膜机MC1000的工作原理介绍
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企业名称
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300789207446B
成立日期
2006-05-17
注册资本
1080万
经营范围
机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址
深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
客服电话
公司名称： 深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527
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