瑞典Mycronic 掩膜计量系统Prexision-MMS
详细介绍
掩膜计量系统
主要优势
*更佳的配准: 30%
*更好地将掩膜套合到掩膜上: 20%
*更短的周转时间: 30%
。 最新的创新性Prexision平台具备优异的精准度与可重复性
。 用我们的专利技术改善配准测量。
。因为第一次测量的结果精确无误,这大大给您节省了周转时间。
。 充分发挥我们的Prexision光刻机的潜力。
基于最精确的Prexision平台打造出的Prexision-MMS将对大面积的配准测量带到了全新的高度。现在,您可以证明您的光掩膜质量究竟有多好了!
为充分利用其性能,您的测量系统性能对于精密调校光刻机也是极其重要的,这样您的光掩膜才能以最高的质量描绘出来。
Prexision-MMS 提供两个型号。G8型最高可处理用于8代显示器玻璃尺寸的掩模尺寸。对于G10型,最高可处理11代显示器尺寸。
技术指标 Prexision-MMS
掩膜对掩膜套合3σ[nm] : 40
配准3σ[nm] : 65
关键尺寸可重复性3σ[nm]: 50
最大尺寸: G8
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企业名称
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300789207446B
成立日期
2006-05-17
注册资本
1080万
经营范围
机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址
深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
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