德国 PVA TePla 等离子去胶机 IoN 100WB-40Q

德国 PVA TePla 等离子去胶机
型号：IoN 100WB-40Q等离子去胶机

IoN 100WB-40Q是我们最新推出的具有高性价比的真空等离子去胶设备。它来源于IoN 100-40Q，IoN 100WB-40Q延续了同样的高品质保障，包括可选压力控制器、光谱终点检测器等丰富配置选择。

IoN 100WB-40Q配备了一个圆筒石英腔，特别适用于半导体、LED、MEMS等领域的光刻胶灰化、打残胶、氮化物刻蚀、表面清洁等应用的批次处理。

IoN 100 WB旨在满足客户的生产需求，着重于表面处理的多功能性和可控性。其先进的性能提供了出色的工艺控制、失效报警系统和数据采集软件。这使得该设备可满足半导体、LED、MEMS等领域严格的程序控制要求。IoN 100 WB结构紧凑，集成度高，采用射频（RF）频率激发等离子体。

先进的功能特性：
●  低微粒石英腔体

●  触摸屏操作，图形用户界面（GUI）

●  使用Windows系统的工业计算机控制

●  工艺员、操作元、维护员访问权限控制

●  自诊断功能和警报记录功能，联网在线诊断功能

●  以太网远程控制功能

●  工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能

●  可隔墙安装

●  可选配光谱终点检测功能

规格参数 
工作腔室材料                                    石英
腔门材质                                           铝（标配）
腔体尺寸                                           直径304 mm，深508mm

最大可处理晶圆尺寸                         8”

最大处理量                                       50片6”

装料方式                                           手动
   

工艺气体 
质量流量控制计                                最多至6路气体
工艺压力                                           200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)
抽真空时间                                       大约1分钟 (取决于真空泵)

射频电源                                           风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)
供给需求电源　　　　　                 220V 单相, 50Hz
工艺气体                                          输入压力 1-2 bar 
吹扫气体                                          输入压力 1-2 bar 
压缩空气                                          输入压力 4-6 bar

机体

●  独立的机体带有所有电源和气体接口
●  带有旋转垫脚的可转动机身

设备尺寸
标准尺寸                                           1067 x 737 x 1524 mm（宽/高/深，不含泵）
重量                                                   约204千克（不含泵）

可选项

● 压力控制器
● 1%精度的真空规

● 石英腔门
● 指示灯柱
● 条形码阅读器
● 工艺气体切换器
● 光谱终点检测器

● 耐腐蚀性气体的MFC
● 1000 瓦13.56 MHz射频发生器
● 真空泵（油泵或干泵）