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深圳市蓝星宇电子科技有限公司

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当前位置： 蓝星宇 > 其它常用设备 > N-TEC全自动真空压合机BW228-4FA

N-TEC全自动真空压合机BW228-4FA

品牌：
产地： 台湾
型号： BW228-4FA
报价： 面议
产品介绍

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产品详情

N-TEC全自动真空压合机BW228-4FA

 

133. BW228-4FA.png

 

卖点

。SECS / GEM 功能
。适用单面 / 双面膜，制程可快速切换
。全自动贴片压合 ( 可贴合晶圆 + 陶瓷盘 / 玻璃等材料 )
。加压上下盘保温功能，可对应多种膜料

 

机台优势

搭配自动手臂，全自动快速生产
真空环境下进行压合，大幅降低贴合面之残留气泡
Loading / Unloading 卡匣数量多
IR 加热功能
双屏幕方便操作
重要统计数据可图表化
手动放片人性化操作

 

作业方式

利用机械手臂，将 6 吋晶圆从卡匣取出，经中心对位及正反面判读后，再放置于晶圆吸附平台上。

步骤一：晶圆吸附平台移至胶膜贴合位，利用压轮及夹膜机构夹住胶膜并滚压移载台移动至切割位，旋转刀具切割膜料，利用撕膜胶带将 6 吋晶圆上之离型膜黏起后，移载台移至真空压合位。
步骤二：机械手臂将晶圆载盘从卡匣取出，经中心对位及正反面判读后，再放置于上吸附盘。真空压合机构下降至预定位置，真空罩开始吸真空，到达预定真空值后开始进行 6 吋晶圆与晶圆载盘之贴合。

 
设备规格

设备尺寸

3320 mm × 1100 mm × 2400 mm ( Ｗ×Ｄ×Ｈ )

设备重量

2500 kg

电源ＡＣ

工作电压：415 ( 3 phase ) / 240 ( 1 phase ) Volt. (V)

厂房安全电流：60 A

空气源

Air Pressure 0.8 MPa

Air Tube Diameter ? 12 mm

 
设备应用范围

晶圆尺寸

6″

晶粒尺寸

无

雷切深度

无

铁环尺寸

–

膜料尺寸

宽 180~250 mm × 长 100 M

晶圆载盘

6″ ( ? 150 mm )、6.5″ ( ? 165 mm )、8″ ( ? 200 mm )

 
机台特性

 


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 无
免费培训： 免费安装及技术培训
免费仪器保养： 6个月一次
保内维修承诺： 经确认质量问题免费更换
报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修
工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。

联系方式

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

公司地址

深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902

客服电话

400-860-5168转4527
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公司名称： 深圳市蓝星宇电子科技有限公司

公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527

主营产品：

化学气相沉积设备 原子层沉积设备 无掩模光刻机/直写光刻机 电子束曝光机 有掩模光刻机 纳米压印设备 匀胶机

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