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牛津Oxford深硅刻蚀机PlasmaPro 100 Estrelas

品牌:
产地: 英国
型号: PlasmaPro 100 Estrelas
报价: 面议
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产品详情

牛津Oxford深硅刻蚀机PlasmaPro 100 Estrelas

 

120.PlasmaPro 100 Estrelas.png

 

PlasmaPro 100 Estrelas 平台旨在提供深硅蚀刻(DSiE)领域的全方位的灵活性以满足微电子机械系统(MEMS)、 先进封装以及纳米技术市场的各种工艺要求。考虑到研究和生产的市场发展,PlasmaPro 100 Estrelas 提供了更加出色的工艺灵活性。

。光滑侧壁工艺
。高刻蚀速率腔刻蚀
。高深宽比工艺
。锥形通孔刻蚀
。广泛的应用领域
。机械或静电压盘
。加热内衬          
。改善重复性
。延长了两次清洗间的平均时间间隔(MTBC)

 

概述:

PlasmaPro 100 Estrelas平台旨在确保覆盖MEMS,先进封装和纳米技术的广泛应用,从光滑侧壁工艺到高刻蚀速率腔刻蚀、高深宽比工艺和锥形通孔刻蚀,不需要更换腔室硬件就可以实现。

 

特征:

硬件设计使同一腔室中可进行Bosch™和超低温刻蚀工艺,使得纳米和微米结构刻蚀均可实现。

兼容50mm至200mm的衬底 - 确保您只需一台系统,便具备从研发器件到量产的能力

自动匹配 - 拥有工艺灵活性

更高流量的质量流量计以及等离子发生器 - 自由基密度更高

减小的腔体尺寸和高效率的泵 - 确保气体高速流通

快速近距离耦合质量流量计 - 快速控制(初始为ALD而开发)

 

应用:

· 硅 Bosch和超低温刻蚀工艺

· 二氧化硅和石英刻蚀

 


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
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其他半导体检测仪PlasmaPro 100 Estrelas的工作原理介绍

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PlasmaPro 100 Estrelas多少钱一台?

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工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。

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