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当前位置： 蓝星宇 > 其他 > 牛津Oxford等离子刻蚀沉积机System 100

牛津Oxford等离子刻蚀沉积机System 100

品牌：
产地： 英国
型号： System 100
报价： 面议
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产品介绍
产品详情

牛津Oxford等离子刻蚀沉积机System 100 

 

 

该设备是一个灵活和功能强大的等离子体刻蚀和淀积工艺设备。 采用真空进样室进样可进行快速的晶片更换、采用多种工艺气体并扩大了允许的温度范围。

 
具有工艺灵活性，适用于化合物半导体，光电子学，光子学，微机电系统和微流体技术， PlasmalabSystem100可以有很多的配置，详情如下。


主要特点

· 可处理8 "晶片，也具有小批量（6 × 2"）预制和试生产的能力

· 选择单晶片/批处理或盒式进样，采用真空进样室。 该PlasmalabSystem100可以集成到一个集群系统中，采用中央机械手传送晶片，生产工艺中采用全片盒到片盒晶片传送. 采用一系列的电极进行衬底温度控制，其温度范围为-150 ° C至700° C

· 用于终端检测的激光干涉和/或光发射谱可安装在Plasmalab System100以加强刻蚀控制

· 选的6 或12路气箱为工艺流程和工艺气体提供了选择上的灵活性，并可以放置在远端，远离主要工艺设备


工艺


一些使用Plasmalab System100等离子刻蚀与沉积设备的例子：

· 低温硅刻蚀，深硅刻蚀和SOI工艺，应用于MEMS ，微流体技术和光子技术

· 用于激光器端面的III - V族刻蚀工艺，通过刻蚀孔、光子晶体和许多其他应用，材料范围广泛（InP, InSb, InGaAsP, GaAs, AlGaAs, GaN, AlGaN,等）

·  GaN、AlGaN等的预生产和研发工艺，比如HBLED和其它功率器件的刻蚀

· 高品质，高速率SiO2沉积，应用于光子器件

· 金属（Nb, W）刻蚀


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 无
免费培训： 免费安装及技术培训
免费仪器保养： 6个月一次。
保内维修承诺： 经确认质量问题，免费更换。
报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修
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其他半导体检测仪System 100的工作原理介绍

其他半导体检测仪System 100的使用方法?

System 100多少钱一台?

其他半导体检测仪System 100可以检测什么？

其他半导体检测仪System 100使用的注意事项？

System 100的说明书有吗？

其他半导体检测仪System 100的操作规程有吗？

其他半导体检测仪System 100报价含票含运吗？

System 100有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。

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公司地址

深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902

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公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527

主营产品：

化学气相沉积设备 原子层沉积设备 无掩模光刻机/直写光刻机 电子束曝光机 有掩模光刻机 纳米压印设备 匀胶机

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