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当前位置： 蓝星宇 > 其他 > Oxford等离子去胶机(灰化)Plasma Stripper (Asher)

Oxford等离子去胶机(灰化)Plasma Stripper (Asher)

品牌：
产地： 英国
型号： Plasma Stripper (Asher)
报价： 面议
产品介绍
产品详情

英国Oxford等离子去胶机(灰化)Plasma Stripper (Asher) 

 

 

应用:从蚀刻晶圆片上移除光刻胶

 

流程配置: RIE/ICP

 

工作原理

。使用等离子体源，生成单原子反应种。

。氧是最常见的反应物质。反应性物质与光阻结合形成灰，

。用真空泵将其除去。

。ICP结构避免了高能离子轰击和电容耦合，

。提供低衬底损伤。

 

可用气体:  O2， N2O

 

主要性能:

。开放式设计，可快速加载和卸载晶圆。

。基片放置在石英上，以避免溅射/再沉积电极材料

。通过顶部电极上的“莲蓬头”进气口将气体注入工艺室

。电感耦合等离子体(ICP)和电极的独立射频发生器提供对离子能量和离子密度的独立控制

。高电导泵浦端口提供高的气体吞吐量，以最快的腐蚀速率

。使用等离子体源，生成单原子反应种。氧是最常见的反应物质。


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 无
免费培训： 免费安装及技术培训
免费仪器保养： 6个月一次。
保内维修承诺： 经确认质量问题，免费更换。
报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修
工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。

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深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902

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公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527

主营产品：

化学气相沉积设备 原子层沉积设备 无掩模光刻机/直写光刻机 电子束曝光机 有掩模光刻机 纳米压印设备 匀胶机

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