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当前位置： 蓝星宇 > 其他 > 德国Sentech等离子沉积机 SI 500 D

德国Sentech等离子沉积机 SI 500 D

品牌：
产地： 德国
型号： SI 500 D
报价： 面议
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产品介绍
产品详情

德国 Sentech等离子沉积机 SI 500 D ：


103. Si500D.png

 

超高密度等离子体

SI 500d具有特殊的等离子体特性，如高密度、低离子能量和介质膜的低压沉积。

 

平面等离子体源

森泰克专利的平面三螺旋天线(PTSA)等离子体源允许高效率低功率耦合。

 

杰出的沉积特性

低腐蚀速率、高击穿电压、低应力、基体无损伤、界面状态密度极低，沉积温度小于100℃，使沉积薄膜具有优异的性能。
 

动态温度控制

 

采用动态温度控制的基片电极，结合He背面冷却和基片背面温度传感，在室温至+350℃的大范围温度范围内，提供优良的稳定工艺条件。

 

SI 500d代表了等离子体增强化学气相沉积介电薄膜、a-Si、SiC和其他材料的前沿。它基于PTSA等离子体源，反应气体分离气体入口，动态控温基片电极，全控真空系统，采用远程现场总线技术的先进森泰克控制软件，以及一个非常友好的通用用户界面来操作SI 500d。

 

从直径200毫米的晶圆片到负载在载体上的各种基板，都可以在SI 500 d中进行加工。

 

SI 500d等离子体增强沉积工具可在室温至350℃范围内沉积SiO2、SiNx、SiONx和a- SI薄膜。溶液可用来沉积TEOS、SiC和其他具有液体或气体前驱体的材料。s500d特别适用于有机材料在低温下沉积高效的保护屏障，以及在规定温度下无损伤沉积钝化膜。

 

森泰科提供不同的自动化水平，从真空盒式磁带加载到一个过程室，多达六个端口集群，具有不同的沉积和蚀刻模块，目标是高灵活性或高吞吐量。SI 500d也可以作为集群配置上的进程模块。
 

SI 500 D

ICPECVD等离子体沉积工具

与真空loadlock

高达200毫米晶圆

衬底温度从RT到350℃

激光端点检测

可选的衬底偏置


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 无
免费培训： 免费安装及技术培训
免费仪器保养： 6个月一次。
保内维修承诺： 经确认质量问题，免费更换。
报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修
问商家

其他半导体检测仪SI 500 D的工作原理介绍

其他半导体检测仪SI 500 D的使用方法?

SI 500 D多少钱一台?

其他半导体检测仪SI 500 D可以检测什么？

其他半导体检测仪SI 500 D使用的注意事项？

SI 500 D的说明书有吗？

其他半导体检测仪SI 500 D的操作规程有吗？

其他半导体检测仪SI 500 D报价含票含运吗？

SI 500 D有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。

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深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902

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公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527

主营产品：

化学气相沉积设备 原子层沉积设备 无掩模光刻机/直写光刻机 电子束曝光机 有掩模光刻机 纳米压印设备 匀胶机

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