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德国 Sentech等离子沉积机SI 500 PPD

品牌：
产地： 德国
型号： SI 500 PPD
报价： 面议
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产品介绍
产品详情

德国 Sentech等离子沉积机SI 500 PPD
 

102. Si500 PPD.png

 

过程的灵活性

PECVD沉积工具SI 500 PPD的使用方便沉淀SiO2、SiNx、SiOxNy的标准工艺，a- si在室温到350℃之间。

真空loadlock SI 500 PPD的特点是真空加载锁定和干燥. 抽油机适用于无油、高产量和沉积过程的清洁度。
 

SENTECH控制软件

用户友好的强大软件包括模拟GUI、参数窗口、食谱编辑器、数据日志和用户管理。

SI 500 PPD是一种先进的等离子体增强化学气相沉积介质薄膜的工具，硅、碳化硅和其他材料。它是基于平面电容耦合等离子体源，真空加载锁定，

控温基片电极，可选配低频混频，全控无油真空系统采用先进的森泰克控制软件，采用远程现场总线技术，具有非常友好的通用用户界面用于操作SI 500 PPD的用户界面。

从直径200毫米的晶圆片到装载在载体上的各种基板，都可以在SI 500 PPD等离子体沉积仪。单片【真空负荷锁定】保证了稳定的工艺条件和可以方便地切换进程。

SI 500 PPD等离子体增强沉积工具被配置成在a中沉积SiO2、SiNx、SiONx和a- SI薄膜

温度范围从室温到350℃。解决方案可用于TEOS, SiC，以及其他具有液态或气态前体的物质。SI 500 PPD适用于介质的沉积用于蚀刻掩膜、薄膜、钝化膜、波导等的薄膜和非晶态硅。
 

SENTECH提供不同水平的自动化，从真空盒加载到一个过程室到六个端口集群，不同的沉积和蚀刻模块，以高灵活性或高吞吐量为目标。SI 500 PPD也可以作为集群配置上的进程模块。


PECVD SI 500 PPD

PECVD等离子体沉积工具与真空loadlock

高达200毫米晶圆

衬底温度从RT到350℃

低应力薄膜可选低频混频

TEOS和其他液体前驱体的来源

干式抽油机

 


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 无
免费培训： 免费安装及技术培训
免费仪器保养： 6个月一次。
保内维修承诺： 经确认质量问题，免费更换。
报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修
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其他半导体检测仪SI 500 PPD的工作原理介绍

其他半导体检测仪SI 500 PPD的使用方法?

SI 500 PPD多少钱一台?

其他半导体检测仪SI 500 PPD可以检测什么？

其他半导体检测仪SI 500 PPD使用的注意事项？

SI 500 PPD的说明书有吗？

其他半导体检测仪SI 500 PPD的操作规程有吗？

其他半导体检测仪SI 500 PPD报价含票含运吗？

SI 500 PPD有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。

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深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902

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公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527

主营产品：

化学气相沉积设备 原子层沉积设备 无掩模光刻机/直写光刻机 电子束曝光机 有掩模光刻机 纳米压印设备 匀胶机

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