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德国Sentech等离子体增强原子层沉积机PE-ALD

品牌： 德国SENTECH
产地： 德国
型号： PE-ALD
报价： 面议
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产品介绍

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产品详情

德国Sentech等离子体增强原子层沉积机PE-ALD 

 

76. Sentech PE-ALD.png 

原子层沉积（ALD）是在3D结构上逐层沉积超薄薄膜的工艺方法。薄膜厚度和特性的精确控制通过在工艺循环过程中在真空腔室分步加入前置物实现。等离子增强原子层沉积（PEALD）是用等离子化的气态原子替代水作为氧化物来增强ALD性能的先进方法。

 

SENTECH基于多年研发制造PECVD和ICPECVD的经验，包括专有的PTSA技术，推出第一台PEALD设备。新的ALD设备应用SENTECH椭偏仪，使热辅助和等离子辅助的操作和沉积过程都能得到监控。
 
 

SENTECH使用激光椭偏仪和宽量程分光椭偏仪的前沿技术——超快在线椭偏仪来监控逐层膜生长。

 

第一台PEALD设备已经在布伦瑞克科技大学（TU Braunschweig）投入使用，用于生长超高均匀性和密度的氧化膜，如Al2O3和ZnO等。
 
 

在Al2O3沉积过程中，三甲基铝（TMA）等离子产生的氧原子反应，衬底温度为80到200℃。PEALD薄膜厚度均匀性高、折射率变化小的特点。

 

 

下图是ALD与PEALD的沉积结果对比

   


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 无
免费培训： 免费安装及技术培训
免费仪器保养： 6个月一次
保内维修承诺： 经确认质量问题免费更换
报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修
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德国SENTECH其他半导体检测仪PE-ALD 的工作原理介绍

其他半导体检测仪PE-ALD 的使用方法?

德国SENTECHPE-ALD 多少钱一台?

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德国SENTECH其他半导体检测仪PE-ALD 报价含票含运吗？

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工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。

联系方式

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

公司地址

深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902

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400-860-5168转4527
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公司名称： 深圳市蓝星宇电子科技有限公司

公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527

主营产品：

化学气相沉积设备 原子层沉积设备 无掩模光刻机/直写光刻机 电子束曝光机 有掩模光刻机 纳米压印设备 匀胶机

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