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美国OAI光刻机Model 200,800MBA,2000,5000

品牌: OAI
产地: 美国
型号: Model 200,800MBA,2000,5000
报价: ¥200万 - 300万
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核心参数

产地类别: 进口

最小线宽: 详见资料

电子束直径: 详见资料

束流电压范围: 详见资料

产品介绍
产品详情

美国 OAI 光刻机:
Model  200 手动曝光机,实验室用 ,
Model 800MBA 双面曝光机, 实验室及小批量生产,
Model  2000 全自动边缘曝光系统,生产型
Model  5000 全自动曝光机,生产型


OAI 200型光刻机是一种具有成本效益的高性能掩模对准器,采用经过行业验证的组件,使OAI成为光刻设备行业的领导者。 200型是台式面罩对准器,需要最小的洁净室空间。它为研发,或有限规模,试点生产提供了经济的替代方案。利用创新的空气轴承/真空吸盘调平系统,衬底快速平稳地平整,用于平行光掩模对准和在接触曝光期间在晶片上的均匀接触。该系统能够实现一微米分辨率和对准精度。

对准模块具有掩模插入件组和快速更换晶片卡盘,其便于使用各种衬底和掩模,而不需要用于重新配置的特殊工具。对准模块包括X,Y和Z轴的微米。

200型掩模对准器具有可靠的OAI紫外光源,其在近紫外或深紫外中提供准直的紫外光,使用功率从200至2000瓦的灯。双传感器,光学反馈回路连接到恒定强度控制器,以提供在所需强度的±2%内的曝光强度的控制。可以快速和容易地改变UV波长。该掩模Aligner是一种灵活,经济的解决方案,适用于任何入门级掩模对准和UV紫外光照射应用.

OAI在MEMS和微流体装置方面的产品主要包括 :  

 

光源

以工作稳定,出光效率高,高均匀性和散射角小而著称。且可提供 20” 以上的大面积光源。

 


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
问商家

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工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。

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深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供美国OAI光刻机Model 200,800MBA,2000,5000,OAIModel 200,800MBA,2000,5000产地为美国,属于进口电子束曝光机,除了美国OAI光刻机Model 200,800MBA,2000,5000的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多电子束曝光机,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527,售前、售后均可联系。
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