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当前位置： 蓝星宇 > 电子束曝光机 > 俄罗斯Optosystem准分子激光器CL7000

俄罗斯Optosystem准分子激光器CL7000

品牌：
产地： 其他国家
型号： CL7000
报价： ¥200万 - 300万
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核心参数

产地类别： 进口

产品介绍
产品详情

俄罗斯Optosystem准分子激光器CL7000
准分子激光器： CL7000,   俄罗斯 Optosystem
 

     

准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。

 

CL7000系列技术参数：

型号

ArF

KrF

XeCl

波长

193 nm

248 nm

308 nm

管材料

陶瓷

预电离

火花

标准脉冲能量

250 mJ

400 mJ

300 mJ

平均功率
CL 7020
CL7050
CL 7100


5 W
10 W
20 W


8 W
20 W
35 W


6 W
15 W
25 W

最大重复频率
CL 7020
CL 7050
CL 7100


20 Hz
50 Hz
100 Hz

脉宽

17 ns

20 ns

20 ns

脉冲稳定度

sigma < 2%

光斑大小

6 x 20 mm

6 x 21 mm

7 x 22 mm

光束发散角

1.5 x 4.5 mrad

时间抖动

< 2 ns

尺寸, (重量)

1350L x 375W x 710H мм (170 kg)

冷却
CL 7020
CL 7050
CL 7100


风冷
水冷（水流< 1L/min）
水冷（水流< 3L/min）

功率
CL 7020
CL 7050
CL 7100


220V / 50Hz, 10А, 不超过1500 VA
220V / 50Hz, 10А, 不超过 1800 VA
380/220V, 50Hz, 10А, 不超过 3500 VA

气体

1 premix cylinder

控制接口

RS 232, DOS/Windows

 

可选功能： 

      1 、1000Kz型号可选
      2、窄线宽型号可选，线宽0.03cm-1
      3、 F2，157nm型号可选

 

特点：

      1、陶瓷放电激光腔设计，长寿命
      2、激光腔，电子系统一体化设计
      3、功率稳定运行模式
      4、预混合供气，使用简单
      5、计算机控制

 

应用 ：

      1、准分子激光脉冲沉积镀膜
      2、准分子激光光栅光纤（FBG）刻写
      3、准分子激光材料加工，微纳制造，光刻

 

准分子激光激光沉积镀膜（PLD）系统示意图

 

准分子激光器光纤光栅（FBG）刻写原理图


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 无
免费培训： 免费安装及技术培训
免费仪器保养： 6个月一次。
保内维修承诺： 经确认质量问题，免费更换。
报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修
问商家

电子束刻蚀CL7000的工作原理介绍

电子束刻蚀CL7000的使用方法?

CL7000多少钱一台?

电子束刻蚀CL7000可以检测什么？

电子束刻蚀CL7000使用的注意事项？

CL7000的说明书有吗？

电子束刻蚀CL7000的操作规程有吗？

电子束刻蚀CL7000报价含票含运吗？

CL7000有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。

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深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902

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公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527

主营产品：

化学气相沉积设备 原子层沉积设备 无掩模光刻机/直写光刻机 电子束曝光机 有掩模光刻机 纳米压印设备 匀胶机

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