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日本Nikon 6英寸分步重复光刻机NSR 1755i7B

品牌:
产地: 日本
型号: NSR 1755i7B
报价: ¥300万 - 400万
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核心参数

产地类别: 进口

产品介绍
产品详情

日本Nikon 6英寸分步重复光刻机NSR 1755i7B

 

技术指标及功能
 

把掩膜版上的图形按照一定的比例缩小复制到涂布有光刻胶的晶圆上,分区域进行步进式曝光。本机台可用于125mm×125mm掩模和φ100mm及150mm的晶圆高精度投影曝光,曝光精度可达500nm。

 

基本指标

 

1. RESOLUTION:0.5μm
2. LENS DISTORTION:≤0.9μm
3. RETICLE ALIGNMENT ACCURACY:≤0.02μm
4. STEPPING ACCURACY:≤0.08μm
5. OVERLAY ACCURACY:≤0.15μm(X,Y)
6. OPEN FLAME(MAX. EXPOSURE AREA):17.5×17.5mm 


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
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电子束刻蚀NSR 1755i7B的工作原理介绍

电子束刻蚀NSR 1755i7B的使用方法?

NSR 1755i7B多少钱一台?

电子束刻蚀NSR 1755i7B可以检测什么?

电子束刻蚀NSR 1755i7B使用的注意事项?

NSR 1755i7B的说明书有吗?

电子束刻蚀NSR 1755i7B的操作规程有吗?

电子束刻蚀NSR 1755i7B报价含票含运吗?

NSR 1755i7B有现货吗?

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。

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深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供日本Nikon 6英寸分步重复光刻机NSR 1755i7B ,nullNSR 1755i7B产地为日本,属于进口电子束曝光机,除了日本Nikon 6英寸分步重复光刻机NSR 1755i7B 的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多电子束曝光机,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527,售前、售后均可联系。
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