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深圳市蓝星宇电子科技有限公司

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当前位置： 蓝星宇 > 电子束曝光机 > 日本JEOL大功率电子枪/电源 JEBG系列

日本JEOL大功率电子枪/电源 JEBG系列

品牌：
产地： 日本
型号： EBG-300UA，JEBG-1000UB，JEBG-3000UB
报价： ¥400万 - 500万
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核心参数

产地类别： 进口

最小线宽： 详见资料

电子束直径： 详见资料

束流电压范围： 详见资料

产品介绍
产品详情

日本JEOL，大功率电子枪/电源，EBG-300UA，JEBG1000UB，JEBG3000UB


 

JEBG系列大功率电子枪是在真空中蒸发或熔解金属及氧化物的大功率电子束发生源，能在不断输送中的宽幅塑料和大面积玻璃基板上高速率地连续镀膜，此外在电子束熔炼时，可用于高熔点金属锭的生产及提纯。

 

产品规格：

型号

EBG-300UA

JEBG-1000UB

JEBG-3000UB

最大输出功率

30kW

(20kV, 1.5A)

100kW

(30kV, 3.4A)

300kW

(40kV, 7.5A)

最大偏转角

±30°

扫描范围

X, Y 轴

最大扫描频率

300Hz

200Hz

200Hz

(300Hz: 选配)

适用电源

ST-30BE2

JST-100C

JST-300CHR

 

产品特点：

· JEBG系列大功率电子枪是在真空中蒸发或熔解金属及氧化物的大功率电子束发生源，能在不断输送中的宽幅塑料和大面积玻璃基板上高速率地连续镀膜，此外在电子束熔炼时，可用于高熔点金属锭的生产及提纯。

· 电子束能大范围地快速扫描，通过专用の控制装置和软件，能生成各种电子束照射图形和区域。由于能够在各个照射位置上设定扫描、停留时间、输出功率及电子束形状，因而能够控制熔融面和膜厚分布。

 

  • 用途

· 真空蒸镀

· 阻隔膜、保护膜、电极膜、导电膜、磁性膜等薄膜的形成。

· 真空熔解

· 生产和提炼Ti、Ta、Nb、 Mo等高熔点金属锭。

· 提炼太阳能电池多晶硅

 


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 无
免费培训： 免费安装及技术培训
免费仪器保养： 6个月一次。
保内维修承诺： 经确认质量问题，免费更换。
报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修
问商家

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工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。

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公司地址

深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902

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深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供日本JEOL大功率电子枪/电源 JEBG系列EBG-300UA，JEBG-1000UB，JEBG-3000UB，nullEBG-300UA，JEBG-1000UB，JEBG-3000UB产地为日本，属于进口电子束曝光机，除了日本JEOL大功率电子枪/电源 JEBG系列的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多电子束曝光机,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527，售前、售后均可联系。
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公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527

主营产品：

化学气相沉积设备 原子层沉积设备 无掩模光刻机/直写光刻机 电子束曝光机 有掩模光刻机 纳米压印设备 匀胶机

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