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深圳市蓝星宇电子科技有限公司

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当前位置： 蓝星宇 > 电子束曝光机 > 日本JEOL电子束光刻机JBX-9500FS　

日本JEOL电子束光刻机JBX-9500FS　

品牌：
产地： 日本
型号： JBX-9500FS
报价： ¥150万 - 200万
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核心参数

产地类别： 进口

最小线宽： 详见资料

电子束直径： 详见资料

束流电压范围： 详见资料

产品介绍
产品详情

日本JEOL电子束光刻机JBX-9500FS　

 

     12. JBX-9500FS.png

 

JBX-9500FS是一款100kV圆形束电子束光刻系统，兼具世界最高水平的产出量和定位精度，最大能容纳300mmφ的晶圆片和6英寸的掩模版，适合纳米压印、光子器件、通信设备等多个领域的研发及生产。

 

产品规格：

电子枪

ZrO/W 肖特基型

描画方式

圆形束, 矢量扫描, 步进重复式

加速电压

100kV

样品尺寸 

样品尺寸 (可以安装): 最大300mmΦ的晶圆片, 最大6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小样品。

最大场尺寸

1000μm×1000μm

样品台移动范围

260mmX240mm

样品台控制单元

0.15nm（λ/4096）

套刻精度

≦±11nm

场拼接精度

≦±10nm （场尺寸为1000μm×1000μm）

写场内位置精度

≦±9nm（场尺寸为1000μm×1000μm）

定位DAC

20位

扫描速度

最大 100MHz

 

产品特点：

· JBX-9500FS是一款100kV圆形束电子束光刻系统，兼具世界最高水平的产出量和定位精度，最大能容纳300mmφ的晶圆片和6英寸的掩模版，适合纳米压印、光子器件、通信设备等多个领域的研发及生产。

 

· 此外，由于具有100MHz的最快扫描速度，场尺寸在1000μm×1000μm时的套刻精度达到±11nm、场拼接精度为±10nm、写场内位置精度达±9nm，是兼具世界最高水准产出率和位置精度的100kV圆形束光刻系统。

 

· 由于采用的位置偏转DAC为20位，扫描DAC为14位，能获得0.25nm的扫描步距，分辨率更高，描画数据增长1nm，可以更忠实地再现描画数据。

 

· 最快达到100ＭＨｚ的高速化扫描速度，保证了大电流描画时的扫描步距很短，因而能提高对精度要求极高的图形描画的产出量。

 

· 由激光束控制（LBC）的0.15nm（λ/4096）的最小定位单位及高分辨率，达到了世界最高水准的位置精度。

 

· 本公司独自的自动校正功能(自动补偿功能)，实现了可信赖的长时间稳定地描画。自动补偿可以根据时间（任意的）、场和图形进行分别设定，非常适合于周末及休假等无人值守等情况下的长时间描画。

 

· 该系统最大能容纳300mmφ的晶圆片和6英寸的光掩模版，适合于纳米压印、光子器件、通信设备等各种领域的研发及生产。采用材料卡匣传送系统（选配），最多可装载10个卡匣。

 

· 利用微间距控制程序（场尺寸微调程序）可以制作DFB激光器等的啁啾光栅。

 


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 无
免费培训： 免费安装及技术培训
免费仪器保养： 6个月一次。
保内维修承诺： 经确认质量问题，免费更换。
报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修
问商家

电子束刻蚀JBX-9500FS的工作原理介绍

电子束刻蚀JBX-9500FS的使用方法?

JBX-9500FS多少钱一台?

电子束刻蚀JBX-9500FS可以检测什么？

电子束刻蚀JBX-9500FS使用的注意事项？

JBX-9500FS的说明书有吗？

电子束刻蚀JBX-9500FS的操作规程有吗？

电子束刻蚀JBX-9500FS报价含票含运吗？

JBX-9500FS有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。

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公司地址

深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902

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400-860-5168转4527
深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供日本JEOL电子束光刻机JBX-9500FS　，nullJBX-9500FS产地为日本，属于进口电子束曝光机，除了日本JEOL电子束光刻机JBX-9500FS　的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多电子束曝光机,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527，售前、售后均可联系。
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公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527

主营产品：

化学气相沉积设备 原子层沉积设备 无掩模光刻机/直写光刻机 电子束曝光机 有掩模光刻机 纳米压印设备 匀胶机

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