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深圳市蓝星宇电子科技有限公司

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资质荣誉
当前位置： 蓝星宇 > 电子束曝光机 > 日本JEOL电子束光刻机JBX-3200MV

日本JEOL电子束光刻机JBX-3200MV

品牌：
产地： 日本
型号： JBX-3200MV
报价： ¥200万 - 300万
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核心参数

产地类别： 进口

最小线宽： 详见资料

电子束直径： 详见资料

束流电压范围： 详见资料

产品介绍
产品详情

日本JEOL电子束光刻机JBX-3200MV 

 

     10. JBX-3200MV.png

 

JBX-3200MV是用于制作28nm～22/20nm节点的掩模版/中间掩模版（mask/reticle）的可变矩形电子束光刻系统。 最先进的技术实现了高速、高精度和高可靠性。 是基于加速电压50 kV的可变矩形电子束和步进重复式的光刻系统?

 

产品规格：

拼接精度

≦±3.5 nm

套刻精度

≦±5 nm

 

产品特点：

· JBX-3200MV是用于制作28nm～22/20nm节点的掩模版/中间掩模版（mask/reticle）的可变矩形电子束光刻系统。

· 最先进的技术实现了高速、高精度和高可靠性。是基于加速电压50 kV的可变矩形电子束和步进重复式的光刻系统

· 利用步进重复式曝光的优点，结合曝光剂量调整功能及重叠曝光等功能，能支持下一代掩模版/中间掩模版（mask/reticle）图形制作所需要的多种补偿。

 


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 无
免费培训： 免费安装及技术培训
免费仪器保养： 6个月一次。
保内维修承诺： 经确认质量问题，免费更换。
报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修
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电子束刻蚀JBX-3200MV 的工作原理介绍

电子束刻蚀JBX-3200MV 的使用方法?

JBX-3200MV 多少钱一台?

电子束刻蚀JBX-3200MV 可以检测什么？

电子束刻蚀JBX-3200MV 使用的注意事项？

JBX-3200MV 的说明书有吗？

电子束刻蚀JBX-3200MV 的操作规程有吗？

电子束刻蚀JBX-3200MV 报价含票含运吗？

JBX-3200MV 有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。

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公司地址

深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902

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400-860-5168转4527
深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供日本JEOL电子束光刻机JBX-3200MV ，nullJBX-3200MV 产地为日本，属于进口电子束曝光机，除了日本JEOL电子束光刻机JBX-3200MV 的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多电子束曝光机,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527，售前、售后均可联系。
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公司名称： 深圳市蓝星宇电子科技有限公司

公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527

主营产品：

化学气相沉积设备 原子层沉积设备 无掩模光刻机/直写光刻机 电子束曝光机 有掩模光刻机 纳米压印设备 匀胶机

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