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德Zeiss Sigma SEM 电子束直写仪

品牌:
产地: 德国
型号: Sigma SEM
报价: ¥300万 - 400万
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核心参数

产地类别: 进口

最小线宽: 详见资料

电子束直径: 详见资料

束流电压范围: 详见资料

产品介绍
产品详情


德Zeiss Sigma SEM 电子束直写仪
型号:Zeiss Sigma SEM



 

主要功能:
·利用曝光抗蚀剂,采用电子束直接曝光,可在各种衬底材料表面直写各种图形,图形结构(最小线宽为10mm),是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具。广泛应用于纳米器件,光子晶体,低维半导体等前沿领域。


 

技术指标:
·肖特基热场发射电子源
·加速电压:100V~30kV
·放大倍率:12X~1000,000X
·SEM分辨率:1nm@30kV,1.5nm (15kV),2.8nm(1kV)
·电子束曝光:10nm(20kV)
·场拼接精度:<100nm
·扫描频率:6MHz
·图形格式:GDSII


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
问商家

电子束刻蚀Sigma SEM 的工作原理介绍

电子束刻蚀Sigma SEM 的使用方法?

Sigma SEM 多少钱一台?

电子束刻蚀Sigma SEM 可以检测什么?

电子束刻蚀Sigma SEM 使用的注意事项?

Sigma SEM 的说明书有吗?

电子束刻蚀Sigma SEM 的操作规程有吗?

电子束刻蚀Sigma SEM 报价含票含运吗?

Sigma SEM 有现货吗?

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。

联系我们
深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供德Zeiss Sigma SEM 电子束直写仪,nullSigma SEM 产地为德国,属于进口电子束曝光机,除了德Zeiss Sigma SEM 电子束直写仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多电子束曝光机,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527,售前、售后均可联系。
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