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德国Raith新一代超高分辨电子束光刻机Voyager
对于工业界和学术界所有关注速度和高分辨的电子束曝光应用,我们推荐您选择VOYAGERTM这款专业电子束光刻系统。Raith非常重视这款具有吸引力的在使用寿命期间具有高性价比、新开发的、创新的eWRITE体系结构。
系统的硬件和软件被一致设计为自动曝光操作,先进的高性能图形发生器和电子光学系统优化设计并协同一致。
系统可实现8英寸样品的高速曝光。系统的稳定性是非常关键的指标,可保证大面积均匀曝光。该系统外部采用环境屏蔽罩,即使在稍差的实验室环境下,仍然能确保系统具有非常好的热稳定性,提高系统对外界环境的容忍度。
00001. 从最初设计到样品制备完成,实现高速样品加工,提高产量
00002. 智能设计:设备占地面积小,且集成环境屏蔽罩
00003. 创新的、未来安全型系统架构
00004. 专业的电子束曝光系统,可实现每小时1cm2的高速曝光,高性价比
Raith新推出的eWrite技术结合了专业电子束光刻的光学系统和创新的图形发生器设计,该技术适用于研发及批量生产的所有工作。
· HSQ胶上制作亚7nm线条
· SU8胶上制作 1x1 cm2 菲涅尔透镜,曝光时间为53分钟,图为菲涅尔透镜中心区域
· PMMA双层胶上制作150nm T型栅结构
· ZEP520胶上制作 1x1 cm2光栅结构,曝光时间小于2小时
· 高速度模式(40nA束电流下曝光160um大结构)和高分辨模式(0.4nA束电流下曝光10nm细小结构)自动切换
· ZEP520胶上制作光子晶体波导结构
主要应用:
· 高速直写
· 衍射光学元件
· 防伪元件
· 批量加工化合物半导体器件
样品台:
· 6“ 移动范围
· Z方向移动范围大
电子枪技术:
· eWrite
· 电子
· 50 kV
独特直写模式:
· traxx 长线条无写场拼接曝光模式
· periodixx周期结构无写场拼接曝光模式
企业名称
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300789207446B
成立日期
2006-05-17
注册资本
1080万
经营范围
机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。
公司地址
深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
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公司名称: 深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址: 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人: 廖敬强 13538131258,徐翠兰15915408056 邮编: 518104 联系电话: 400-860-5168转4527
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