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适合用于科研领域台式激光直写机操作简单,可支持灰度光刻
μPG101是一款经济实惠且易于操作的图形发生器,适用于直写和少批量的掩模板制作。该系统可用于MEMS、Bio MEMS、Integrated Optics、Micro Fluidics或任何其他需要高精度、高分辨率微结构的制作。
μPG101的面积仅为60x75cm2,设计精巧,将所有电子组件集成在系统中,由系统控制主机运作。基于Windows®的控制接口,使用户可以轻松进行数据转文件,经过手动或自动对准之后,即可开始曝光。
μPG101主要提供简单快速的方式来创建微结构。系统可透读写模块的更换,以满足不用的分辨率和写入速度的要求。它是市面上唯一达到亚微米结构的桌上型光刻系统,即使是偏小网格,依然具有非常高精度的结构。实时自动对焦系统可在曝光期间实时监控和校正聚焦位置,从而确保整个曝光区域的高分辨率和可重复性。精密网格和实时自动对焦装置是专业微图型发生器的标准要求。
μPG101的应用包括 Life Science 、MEMS 、 Semiconductor 、Sensors、Actuators、MOEMS、Material Research、Nano-Tubes、Graphene以及任何其他需要微结构的应用。
功能
写入速度高达90毫米2/分钟
基板6 x 6”
降至0.6μm结构
标准或紫外光源
多种数据输入格式
基本灰度曝光模式
对准摄像系统
多种可交换的写模式
矢量和栅格曝光模式
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UPG101有现货吗?
企业名称
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300789207446B
成立日期
2006-05-17
注册资本
1080万
经营范围
机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。
公司地址
深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
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公司名称: 深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址: 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人: 廖敬强 13538131258,徐翠兰15915408056 邮编: 518104 联系电话: 400-860-5168转4527
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