关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-860-5168转4527
仪器信息网认证电话，请放心拨打
400-860-5168转4527
德国海德堡Heidelberg激光直写光刻机μPG 101
适合用于科研领域
台式激光直写机
操作简单，可支持灰度光刻
μPG101是一款经济实惠且易于操作的图形发生器，适用于直写和少批量的掩模板制作。该系统可用于MEMS、Bio MEMS、Integrated Optics、Micro Fluidics或任何其他需要高精度、高分辨率微结构的制作。
μPG101的面积仅为60x75cm2，设计精巧，将所有电子组件集成在系统中，由系统控制主机运作。基于Windows®的控制接口，使用户可以轻松进行数据转文件，经过手动或自动对准之后，即可开始曝光。
μPG101主要提供简单快速的方式来创建微结构。系统可透读写模块的更换，以满足不用的分辨率和写入速度的要求。它是市面上唯一达到亚微米结构的桌上型光刻系统，即使是偏小网格，依然具有非常高精度的结构。实时自动对焦系统可在曝光期间实时监控和校正聚焦位置，从而确保整个曝光区域的高分辨率和可重复性。精密网格和实时自动对焦装置是专业微图型发生器的标准要求。
μPG101的应用包括 Life Science 、MEMS 、 Semiconductor 、Sensors、Actuators、MOEMS、Material Research、Nano-Tubes、Graphene以及任何其他需要微结构的应用。
功能
写入速度高达90毫米2/分钟
基板6
x 6”
降至0.6μm结构
标准或紫外光源
多种数据输入格式
基本灰度曝光模式
对准摄像系统
多种可交换的写模式
矢量和栅格曝光模式
其他半导体检测仪UPG101的工作原理介绍
其他半导体检测仪UPG101的使用方法?
UPG101多少钱一台?
其他半导体检测仪UPG101可以检测什么？
其他半导体检测仪UPG101使用的注意事项？
UPG101的说明书有吗？
其他半导体检测仪UPG101的操作规程有吗？
其他半导体检测仪UPG101报价含票含运吗？
UPG101有现货吗？
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址
深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
客服电话
公司名称： 深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527
仪器信息网APP
展位手机站