海德堡Heidelberg 高级大型2D,3D直写光刻机DWL 8000
大面积瞄写系统:DWL 8000
搭配海德堡的精密软件控制可以让您在大面积范围中,也可以瞄写2维和3维图形的DWL 8000系列,是针对微光学领域的2维和3维的微构造形式所制作。
对于激光图形生成器,MEMS,Displays 和sensors 都有加宽,加高的设计。DWL 8000精确的温度控制,动态的焦点追踪,closed loop位置决定,确保完美布置和完全覆盖性的直写范围。
DWL 8000多年的经验累积,使Gray Scale曝光技术,可以更有效率于更小的系统上直写更大的区域范围。在使用高分辨率技术掩模板上,使用曝光强度经过调整的激光,可在连续表面上形成1个复杂的3维样式。
主要功能:
。最小描绘尺寸:0.7um
。最小直写尺寸:20nm
。5种描绘模式
。可转换成自动描绘模式
。进阶3维绘画方式
。里测/校直用照相机系统
。选择线上(Online)传送绘画数据
。自动基板加载系统
。多种多样的绘画数据输入格式(DXF,CIF,GDSLL,Gerber,STL)
。Stage Map补正
。Edge detectof unit
应用范围:
。Micro-optics
。MEMS
。Display
。Micro-sensor
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企业名称
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300789207446B
成立日期
2006-05-17
注册资本
1080万
经营范围
机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址
深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
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