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核心参数
仪器种类： 坩埚炉
产地类别： 进口
最高温度： 1000℃
控温精度： ±1℃
最大功率： 2kW
升温速度（达到最高温）： 10min
加热方式： 石墨
内部尺寸： 150mm*150mm*200mm
§ 产品简介：
ANNEAL真空退火炉是英国MOORFIELD公司的一款桌面式高真空退火装置，最高温度为1000℃，真空度可达5×10-7mbar，并且可以精密控制退火的气氛，样品最大尺寸为6寸，是二维材料及薄膜器件退火的理想选择工具之一。
§ 产品特性及主要参数：
• 桌面型真空退火装置
• 样品最大尺寸：6寸或者4寸圆片
• 温度有两个方案可供选择：
1）1000℃高温：加热材料为SIC涂层的石墨材料或者CCC材料，分辨率±1℃
2）600℃高温：采用石英灯加热，兼容普通空气环境，价格便宜，分辨率±1℃
• 高精度气体控制：在退火时可支持3通道气体控制： Ar,O2与N2，质量流速可控。
• 极高分辨率压力全自动控制：低至0.1mbar，退火时压力的控制至关重要，尤其是二维材料，纳 米薄膜材料，压力控制的越精准越好。
• 真空度低至<5 × 10-7 mbar
• 操作简单
• 可自定义退火程序并具有储存功能
• 维护简单
• 操作及其安全，有各种安全保护装置
• 兼容超净间
退火炉结构图
加热台外观图
§ 产品应用：
• 纳米薄膜退火处理
• 二维材料退火处理
• 金属材料，陶瓷材料等退回处理
§ 典型用户：
• the University of Exeter(UK)
• the University of Manchester(UK)
• ICFO – The Institute of Photonic Sciences ( Spain)
• the University of Cambridge and Nokia Research Centre
企业名称
微纳科仪（北京）科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91110105596091635X
成立日期
2014-02-24
注册资本
500
经营范围
生产，经营
微纳（香港）科技有限公司
公司地址
北京市亦庄经济技术开发区大族广场T4-504室
客服电话
公司名称： 微纳（香港）科技有限公司
公司地址： 北京市亦庄经济技术开发区大族广场T4-504室 联系人： 刘小姐 邮编： 100022 联系电话： 400-860-5168转3282
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