核心参数
产地类别: 进口
旋转速度: 10000
旋转精度: 1
最大加速度: 4000
基片直径: 300 mm
腔体直径: 0
n产品简介
VARIXX 804型全自动匀胶喷胶机采用新的喷涂概念,将两种不同的喷涂方法集成到一个系统中,可用于2D喷胶,也可以对凹凸面进行3D喷涂,全自动装卸,全自动喷涂旋涂,同时可配置匀胶,显影,清洗,烘焙模块。
n产品特色
÷ 适用于所有形貌和形状的喷涂。
÷ 工作台具有加热功能
÷ 手动装卸
÷ 集成两个具有自动快速更换功能的超声波喷嘴。
÷ 集成安全传感器
÷ 6轴机械手系统
÷ 注射器分散系统
÷ 采用粉末涂层不锈钢制成的系统框架和工艺容器
÷ 用于加工区域的可锁定透明门
÷ 系统正面的紧急停止按钮
÷ 带有三个光区的信号灯,用于显示系统状态
÷ 可调节调平脚和运输轮
÷ 满足洁净室 10 级的通用设计 (ISO 4)
÷ 带有 22" 触摸屏显示器的用户友好型操作界面 GUI
÷ 可编程工艺参数(喷嘴位置、光刻胶剂量、速度和 N2 流量)
÷ 配方和流程的库函数
÷ 衬底尺寸: 圆片从 ? 200mm (8 inch) 到 ? 300mm (12 inch) ,
方片从 9 x 9 inch 到 21 x 21 inch
Osiris匀胶机VARIXX 804的工作原理介绍
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企业名称
微纳科仪(北京)科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91110105596091635X
成立日期
2014-02-24
注册资本
500
经营范围
生产,经营
微纳(香港)科技有限公司
公司地址
北京市亦庄经济技术开发区大族广场T4-504室
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