荷兰TeraNova光栅尺寸无损检测仪（散射仪）

1、产品简介

  荷兰TeraNova公司的光栅尺寸无损检测仪是一款针对工业客户的大范围、快速、无损光栅尺寸检测设备。该设备利用光的散射原理，可以无损、快速检测被测光栅的周期（pitch）、线高（Height）、占空比（DC）、边缘角（Side-wall Angle）、残余层厚度（RLT）、折射率（Diffractive index）等数据。特别适合AR/VR光学镜头表面光栅图形的无损检测。

2、检测原理

  光源的入射光线在物镜（Objective lens）的后焦平面（Back-focal plane）聚焦，通过物镜后产生准直平行光（Collimated light）照射样品表面。通过调整入射光线在后焦平面的聚焦位置（Δ）来调整准直平行光照射样品表面的角度。照射样品表面的准直平行光发生衍射，形成不同光强的衍射级（Diffracted orders），收集不同入射角度（Incidence angle）对应产生的不同衍射级信号，与数据库信息进行拟合，就可以对被测样品进行评估并得到被测样品的几何参数信息。

3、主要技术参数

n  关键尺寸灵敏度：＜2nm；

n  空间分辨率：50μm；

n  每个点扫描时间：15s-30s；

n  照射角度范围：-40°-40°；

n  仪器尺寸（高度-长度-宽度）：1.8mÍ0.9mÍ0.5m；

n  最小晶圆厚度：0.3mm；

n  晶圆尺寸（直径）：最大300mm；

n  基底兼容性：透明或不透明；

n  晶圆装载方式：手动或自动；

4、与扫描电镜（SEM）检测方法对比

  待测样品由荷兰SCIL公司的AutoSCIL型纳米压印系统加工，使用SCIL公司的NanoGlass™无机光刻胶，光栅周期（Pitch）约为380nm，残余层厚度（RLT）约为47nm，线高（Height）约为102nm。通过将检测值与数据库信息拟合，得到样品几何参数。

测试结果对比：

  结论：通过两种不同检测方法测得的样品几何参数的对比可以看出，采用TeroNova光栅尺寸无损检测仪测得的数据与SEM无明显差异，但由于TeroNova光栅尺寸无损检测仪具有大范围、快速、无损检测的特点，使其更适合应用于工业领域。

5、应用案例-光栅关键尺寸（CD）空间点阵扫描

样品尺寸：25mmÍ25mm

光栅周期（Pitch）：380nm

线高（Height）：96nm

光栅制备方法：基底保形纳米压印（SCIL）

1）   光学显微镜和电子显微镜下的被测样品

2）  同一测量点，入射光TE方向偏振和TM方向偏振的入射角与对应光强分布的测量值与数据库拟合结果

3）   光栅样品的线高和边缘角的数据及其分布情况