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核心参数
刻蚀原理： 化学刻蚀
产地类别： 进口
刻蚀原理： 化学液刻蚀
刻蚀速率： /
刻蚀剖面： /
选择比： /
均匀性： /
残留物： /
宽深比： /
n产品简介
CHEMIXX E 30 湿法刻蚀系统专门用于掩膜版与晶圆的刻蚀与清洗，安全性能好，可使用 H2SO4, H2O2,NH4OH,HF,BOE等液体。
n产品特色
÷ 人工装卸半自动化系统
÷ 掩膜版尺寸（方形衬底）高达 230 x 230 毫米/9 x 9 英寸
÷ 晶圆尺寸高达 300 毫米（?12 英寸）
÷ 耐腐蚀工艺室
÷ 两个自动输送臂，用于化学刻蚀及清洗
÷ 输送臂最大6路管路
÷ 提供多种喷嘴
÷ 低接触或定制夹头
÷ 化学液具有加热选项：20 - 80°C
÷ 腔室冲洗喷嘴系统
÷ 去离子水的 BSR（背面冲洗）喷嘴
÷ 工艺室外的手动去离子水枪
÷ 最大的集成3个化学试剂容器罐（每个 10 升），具有化学液自动排放系统
÷ 不同化学品的外部化学试剂容器罐可选（H2SO4、H2O2、NH4OH、HF、BOE）
÷ 手动灌装或通过批量灌装系统
÷ 清洗模组可选用化学液，噪声，PVA刷洗，高压等离子水冲洗
÷ 支持SCES/GEM 通讯协议
n技术数据
÷ 衬底尺寸: 最大可达 230 x 230 mm (9″x 9″) 或 ? 300mm (?12″)
÷ 电机转速: 最大 4.000 rpm, 步长 1 rpm
÷ 电机加速: 最大 5.000 rpm/s, 步长 1 rpm/s
÷ 步进时间: 1 至 999.9 秒，步长 0.1 s
÷ 工艺腔材料: PP (可选 PVDF)
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企业名称
微纳科仪（北京）科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91110105596091635X
成立日期
2014-02-24
注册资本
500
经营范围
生产，经营
微纳（香港）科技有限公司
公司地址
北京市亦庄经济技术开发区大族广场T4-504室
客服电话
公司名称： 微纳（香港）科技有限公司
公司地址： 北京市亦庄经济技术开发区大族广场T4-504室 联系人： 刘小姐 邮编： 100022 联系电话： 400-860-5168转3282
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