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THEORIS A302L 12英寸立式低温退火炉
1、先进的压力控制系统
Advanced pressure control system
2、高精度温度场控制技术
Higher precision temperature field control technology
3、先进的颗粒控制技术
Advanced particle control technology
4、可靠的氢气工艺能力技术
High reliability of H2 process technology
5、高产能
Higher throughput
技术参数
1、晶圆尺寸 12 英寸
2、适用材料 硅
3、适用工艺 低压合金、金属 / 非金属退火、薄片退火
4、适用领域 新兴应用、集成电路、先进封装
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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退火炉THEORIS A302L 的使用方法?
北方华创THEORIS A302L 多少钱一台?
退火炉THEORIS A302L 可以检测什么？
退火炉THEORIS A302L 使用的注意事项？
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