12英寸单片快速热退火系统
12英寸单片快速热退火系统

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北方华创

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Sitara TA230A

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中国大陆

  • 银牌
  • 第2年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

Sitara TA230A 12英寸单片快速热退火系统

1、适用于 260-1200℃快速热处理工艺 

Advanced 260-1200℃ rapid thermal process 

2、高精度温度控制,提供优异工艺 

High precision temperature control system ensure excellent process performance 

3、低成本,高产能 

Lower CoO/CoC,higher throughput


技术参数 Technical Parameters

1、晶圆尺寸 12 英寸

Wafer size 12"

2、适用工艺 快速热退火、快速热氧化、金属硅化

Applicable process RTA, RTO, Silicide

4、适用领域 科研、集成电路

Applied field  R&D, IC

售后服务承诺

产品货期: 60天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

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退火炉Sitara TA230A 的使用方法?

北方华创Sitara TA230A 多少钱一台?

退火炉Sitara TA230A 可以检测什么?

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