产地类别: 进口
看了有掩模光刻机的用户又看了
瑞士idonus提出了一种创新的紫外线照明系统,该系统基于大功率LED和高级微透镜阵列的使用。该产品可用于光致抗蚀剂曝光,适用于多种基材。我们完整的UV照明产品线可满足300 mm宽的掩模和晶圆的光刻需求。可以设计定制的解决方案来满足您的特定要求(例如,对掩模对准器进行改造,为将来的产品提供OEM)。
LED的好处
直到最近,水银弧光灯能够提供适合UV光刻曝光的高强度光的光源。由于LED技术的进步,UV-LED已成为耗能汞灯的极具吸引力的替代品。
除了生态和安全方面,与传统的汞灯相比,UV-LED的技术优势众多,并且对光刻具有重要意义。UV-LED的最重要的优点是,它们具有稳定的发射性,使用寿命长。结果,不需要日常校准和维护。此外,通过提高能源效率,LED减少了发热量,从而大大简化了系统冷却。
UV-LED技术的好处
LED使用寿命长,这意味着不再需要消耗品
无需每日校准,即时稳定的照明
即时开启,光线仅在曝光期间开启,无需机械快门
低功耗
有限的加热,这意味着非常低的空气冷却成本
没有维护费用紫外线LED曝光系统
idonus已经推出了完整的UV-LED曝光产品线。我们的系统将市场上最有效的UV-LED与高级微透镜阵列集成在一起。它们完全组装并在内部进行控制。我们的设计采用全远心光学元件,可在整个曝光区域提供可重复且均匀的照明条件-即高度均匀且稳定的强度,并且发散角很小。这种光学器件可确保整个基板完全均匀地曝光,从而生产出具有笔直侧壁的固化光致抗蚀剂,并具有微米级。
应用:
光刻曝光
纳米压印
紫外固化
优点:
工艺稳定
免校准,免维护
即时开/关
无有害物质,无特殊安全规定
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 有
免费仪器保养: 6月1次
保内维修承诺: 免费维修更换零件
报修承诺: 48小时内响应
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