德国Logomatic碳化硅晶锭滚圆机

SiC碳化硅晶锭外径滚磨机

n产品简介

德国Logomatic Q2/Q2+型外径滚磨机主要用于SiC等超硬材料的外径滚磨。自带X射线定向仪同时集成外径的粗磨、精磨、晶向测量、计算定位Notch&Flat位置、加工Notch&Flat、光学检查Notch轮廓线形貌等功能，只需一台设备就能完成从晶锭到成品晶圆的加工。可加工直径6寸、8寸样品，最大样品厚度60mm。所有的加工步骤，如样品测量、砂轮补偿、磨削压力控制和修整，加工等整个流程都是全自动进行的，不受操作员的任何影响。

n产品特点

1)   专为SiC等超硬材料设计。采用先进的“剥离研磨（Peel Grinding）”工艺，相比于传统1A1砂轮研磨工艺，这种研磨工艺使用更多的金刚石颗粒，可以大幅提高研磨工件的去除率。

2)      自带X射线定向仪集成外径粗磨、精磨、测量晶向、计算定位Notch&Flat位置、加工Notch&Flat、光学检查Notch轮廓线形貌等功能，在一台设备上可以同时完成晶锭外径滚磨、修整、开平边或V槽（flat&notch），无需重复夹持晶锭工件，减小误差，提高生产效率。

3)      整个工艺时间约1小时。所有工艺步骤全部自动完成，例如：整个滚磨工艺周期内自动测量工件的尺寸、工件外径滚磨、研磨砂轮自动补偿、研磨压力自动调整、自动开平边或V槽、自动进行磨边修整等。

4)      设备配备声发射传感器和压力传感器，可以实时监控整个滚磨工艺过程。

5)      系统搭载“数字孪生”技术，可以提前模拟验证滚磨工艺过程，提高成品率。

6)   特殊的夹持系统，两侧中心之间的夹紧抵消了磨削压力，实现了更高的精度。

7)      相比于其它同类产品，Q2滚磨系统占地面积小，节省空间。

8)      设备配备Logomatic特有的离心机供水系统，一台设备可以同时给8台Q2滚磨机供水，可以减少用水量（单台Q2设备每周节省约100L纯水），节约成本并降低纯水杂质（＜2μm杂质大小）。

n技术规格：

1)      适用于6”和8”SiC晶锭，最大长度60mm。

2)      夹持中心高度：125mm。

3)      设备尺寸：1.8m*1.8m*1.9m。

4)      重量：4.5吨。

5)      功率：4kW。

6)   主轴rpm：3500r/min。