SMEE 300系列光刻机 —— LED、MEMS、Power Devices
SMEE 300系列光刻机 —— LED、MEMS、Power Devices

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300系列

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中国大陆

  • 银牌
  • 第4年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

SMEE 300系列光刻机 —— LED、MEMS、Power Devices

 

SSB300系列步进投影光刻机面向6英寸以下中小基底光刻应用领域,满足HB-LED、MEMS和Power Devices等领域单面或双面光刻工艺需求。

产品特征

● 高分辨率,分辨率可达0.8μm

● 高速在线MAPPING技术

● 多尺寸基底自适应切换

● 高产能

● 高精度套刻

● 完美匹配ALIGNER

主要技术参数

型号

SSB300

SSB320

SSB380

分辨率

0.8微米

2微米

 1.5微米

曝光光源

i-line mercury lamp

基底尺寸

100/150 mm

100/150 mm

100/150 mm

工艺应用

支持LED PAD/PSS工艺

支持LED PAD工艺

可选配置

 背面对准和可变狭缝(Variable Slit)


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 不限人次免费安装培训

免费仪器保养: 可根据客户使用程度制定仪器保养计划。

保内维修承诺: 非人为损坏,免费保修。

报修承诺: 24小时内进行响应,48小时内出解决方案。

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