看了有掩模光刻机的用户又看了
SMEE 600系列光刻机 —— IC前道制造
SSX600系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术，以及自减振六自由度工件台掩模台技术，可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求。该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。
主要技术参数
型号 | SSA600/20 | SSC600/10 | SSB600/10 |
分辨率 | 90nm | 110nm | 280nm |
曝光光源 | ArF excimer laser | KrF excimer laser | i-line mercury lamp |
镜头倍率 | 1:4 | 1:4 | 1:4 |
硅片尺寸 | 200mm或300mm | 200mm或300mm | 200mm或300mm |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 不限人次免费安装培训
免费仪器保养: 可根据客户使用程度制定仪器保养计划。
保内维修承诺: 非人为损坏，免费保修。
报修承诺: 24小时内进行响应，48小时内出解决方案。
--有掩模光刻机600系列的工作原理介绍
有掩模光刻机600系列的使用方法?
--600系列多少钱一台?
有掩模光刻机600系列可以检测什么？
有掩模光刻机600系列使用的注意事项？
--600系列的说明书有吗？
--有掩模光刻机600系列的操作规程有吗？
--有掩模光刻机600系列报价含票含运吗？
--600系列有现货吗？
