波长扫描时式多入射角椭偏仪

椭偏仪概述椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。由于并不与样品接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量设备。椭偏仪可测的材料包括：半导体、电介质、聚合物、有机物、金属、多层膜物质。椭偏仪涉及领域有：半导体、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示器、科研、生物、医药等。椭偏法测量优点(1)能测量很薄的膜(1nm)，且精度很高，比干涉法高1~2个数量级。(2)是一种无损测量，不必特别制备样品，也不损坏样品，比其他精密方法如称重法、定量化学分析法简便。(3)可同时测量膜的厚度、折射率以及吸收率。因此可以作为分析工具使用。(4)对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感，是研究表面物理的一种方法。在半导体制造领域，为了监测硅片表面薄膜生长/蚀刻的工艺，需要对其尺寸进行量测。一般量测的对象分为两种：3D结构与1D结构。3D结构是最接近于真实Device的结构，其量测出来的结果与电性关联度最大。3D结构量测的精度一般是纳米级别的。1D结构就是几层，几十层甚至上百层薄膜的堆叠，主要是用来给研发前期调整工艺稳定性保驾护航的，其测量精度一般是埃数量级的。就逻辑芯片来说，最重要的量测对象是HKMG这些站点各层薄膜的量测。因为这些站点每层薄膜的厚度往往只有几个到十几个埃，而process window更极限，往往只有1-1.5个埃，也就是说对工艺要求极高。而这些金属层又跟电性关联度很大，所以每一家fab都对这些站点的量测非常重视。如何验证这些精度呢？在fab里，一般会撒一组DOE wafer: Baseline wafer，以及Baseline +/-几埃的wafer，然后每片wafer上切中心与边缘的两个点。zai采用TEM或XPS结果作为参考值，与椭偏仪量测结果拉线性，比如R-Square达到0.9以上就算合格。最能精确验证椭偏仪精度的是沉积那些薄膜的机台，比如应用材料等公司的机台，通过调节cycle数可以沉积出不同厚度的薄膜，其名义值往往与椭偏仪的量测值有极其高的线性（比如R-Square在0.95以上)。但为啥不用这些机台的名义值作为参考值啊？因为这些机台本身也是以光学椭偏仪量测出来的值来调整自身工艺的，当然需要一个第三方公证，也就是TEM或XPS。光学椭偏仪的原理上世纪七十年代就有了，已经非常成熟。光学椭偏仪的量测并不是像TEM一样直接观察，而是通过收集光信号再通过物理建模(调节材料本身的光学色散参数与薄膜3D结构参数)来反向拟合出来的。真正决定量测精度的是硬件水平，软件算法，以及物理建模调参时的经验。硬件水平决定信号的强弱，也就是信噪比。软件算法决定在物理建模调参时的速度。因为物理建模调参是一个最花费时间的过程: 需要人为判断计算是过拟合还是欠拟合，需要人为判断算出来的3D结构是否符合制程工艺，需要人为判断材料的光学色散参数是否符合物理逻辑。仪器原理椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。椭圆偏光法涉及椭圆偏振光在材料表面的反射。为表征反射光的特性，可分成两个分量：P和S偏振态，P分量是指平行于入射面的线性偏振光，S分量是指垂直于入射面的线性偏振光。菲涅耳反射系数r描述了在一个界面入射光线的反射。P和S偏振态分量各自的菲涅耳反射系数r是各自的反射波振幅与入射波振幅的比值。大多情况下会有多个界面，回到最初入射媒介的光经过了多次反射和透射。总的反射系数Rp和Rs，由每个界面的菲涅耳反射系数决定。Rp和Rs定义为最终的反射波振幅与入射波振幅的比值。椭偏法这种非接触式、非破坏性的薄膜厚度、光学特性检测技术测量的是电磁光波斜射入表面或两种介质的界面时偏振态的变化。椭偏法只测量电磁光波的电场分量来确定偏振态，因为光与材料相互作用时，电场对电子的作用远远大于磁场的作用。折射率和消光系数是表征材料光学特性的物理量，折射率是真空中的光速与材料中光的传播速度的比值N=C/V；消光系数表征材料对光的吸收，对于透明的介电材料如二氧化硅，光完全不吸收，消光系数为0。N和K都是波长的函数，但与入射角度无关。椭偏法通过测量偏振态的变化，结合一系列的方程和材料薄膜模型，可以计算出薄膜的厚度T、折射率N和吸收率（消光系数）K。市场规模据GIR (Global Info Research)调研，按收入计，2021年全球椭圆偏振仪收入大约40百万美元，预计2028年达到51百万美元，亚太地区将扮演更重要角色，除中美欧之外，日本、韩国、印度和东南亚地区，依然是不可忽视的重要市场。目前椭偏仪被广泛应用到OLED 、集成电路、太阳能光伏、化学等领域。有专家认为，随着国内平板显示、光伏等产业爆发，国内椭偏仪将形成30亿元到50亿元大市场。据专家估计，全球显示面板制造，约有六七成在我国生产。光谱椭圆偏振仪和激光椭圆偏振仪根据不同产品类型，椭圆偏振仪细分为: 光谱椭圆偏振仪和激光椭圆偏振仪。激光椭偏仪采用极窄带宽的激光器作为光源，在单波长下对纳米薄膜样品进行表面和界面的表征。激光椭偏仪作为常规的纳米薄膜测量工具,与光谱椭偏仪相比，具有如下特点：1.对材料的光学常数的测量更精确：这是由激光的窄带单色性质决定的，激光带宽通常远小于1nm，因此能够更准确地获得激光波长下的材料的材料参数。2.可对动态过程进行快速测量：激光良好的方向性使得其强度非常高，因此非常适合对动态过程的实时测量。但激光椭偏仪对多层膜分析能力不足，不如光谱型椭偏仪。椭偏仪的发展进程1887年，Drude第一次提出椭偏理论，并建立了第一套实验装置，成功地测量了18种金属的光学常数。1945年，Rothen第一次提出了“Ellipsometer”(椭偏仪)一词。之后，椭偏 仪有了长足发展，已被广泛应用于薄膜测量领域。根据工作原理, 椭偏仪主要分为消光式和光度式两类。在普通椭偏仪的基础上，又发展了椭偏光谱仪、红外椭偏光谱仪、成像椭偏仪和广义椭偏仪。典型的消光式椭偏仪包括光源、起偏器、补偿器、检偏器和探测器。消光式椭偏仪通过旋转起偏器和检偏器，找出起偏器、补偿器和检偏器的一组方位角(P、C、A), 使入射到探测器上的光强最小。由这组消光角得出椭偏参量Y和D。在椭偏仪的发展初期，作为唯一的光探测器，人眼只能探测到信号光的存在或消失，因而早期椭偏仪的类型都是消光式。消光式椭偏仪的测量精度主要取决于偏振器件的定位精度，系统误差因素较少, 但测量时需读取或计算偏振器件的方位角，影响了测量速度。所以消光式椭偏仪主要适用于对测量速度没有太高要求的场合，例如高校实验室。而在工业应用上主要使用的是光度式椭偏仪。光度椭偏仪对探测器接收到的光强进行傅里叶分析, 再从傅里叶系数推导得出椭偏参量。光度式椭偏仪主要分为旋转偏振器件型椭偏仪和相位调制型椭偏仪。其中旋转偏振器件型椭偏仪包括旋转起偏器型椭偏仪、旋转补偿器型椭偏仪和旋转检偏器型椭偏仪。光度式椭偏仪不需测量偏振器件的方位角，便可直接对探测器接收的光强信号进行傅里叶分析，所以测量速度比消光式椭偏仪快，特别适用于在线检测和实时测量等工业应用领域。对于多层薄膜，一组椭偏参量不足以确定各层膜的光学常数和厚度, 而且材料的光学常数是入射光波长的函数, 为了精确测定光学常数随入射波长的变化关系, 得到多组椭偏参量, 椭偏仪从单波长测量向多波长的光谱测量发展。1975 年，Aspnes 等首次报道了以RAE为基本结构的光谱椭偏仪。它利用光栅单色仪产生可变波长，从而在较宽的光谱范围(近红外到近紫外)内可以测量高达 1000 组椭偏参量，膜厚测量精度可以达到0.001 nm，数据采集和处理时间仅为7s。1984年，Muller 等研制了基于法拉第盒自补偿技术的光谱椭偏仪。这种椭偏仪采集400组椭偏参量仅用时 3s。为了进一步缩短系统的数据采集时间，1990年Kim 等研制了旋转起偏器类型的光谱椭偏仪，探测系统用棱镜分光计结合光学多波段分析仪(OMA) 代替常用的光电倍增管，在整个光谱范围内获取 128 组椭偏参数的时间为 40ms。紫外波段到可见波段消光系数较大或厚度在几个微米以上的薄膜，其厚度和光学常数的测量需使用红外椭偏光谱仪。红外椭偏光谱仪已经成为半导体行业异质结构多层膜相关参量测量的标准仪器。早期的红外椭偏光谱仪是在 RAE、RPE 或 PME 的基础上结合光栅单色仪构成的。常规的红外光源的强度较低，降低了红外椭偏仪的灵敏度。F. Ferrieu 将傅里叶变换光谱仪(FT) 引入到 RAE，使用常规的红外光源，其椭偏光谱可以从偏振器不同方位角连续记录的傅里叶变换光谱得到，从而能够对材料进行精确测量，提高了系统的灵敏度。其缺点是不能实现快速测量。由于集成电路的特征尺寸越来越小，一般椭偏仪的光斑尺寸较大(光斑直径约为 1 mm)，为了提高椭偏仪的空间分辨率，Beaglehole将传统椭偏仪和成像系统相结合，研制了成像椭偏仪。普通椭偏仪测量的薄膜厚度是探测光在样品表面上整个光斑内的平均厚度，而成像椭偏仪则是利用 CCD 采集的椭偏图像得到样品表面的三维形貌及薄膜的厚度分布，从而能够提供样品的细节信息。成像椭偏仪的 CCD 成像单元，将样品表面被照射区域拍摄下来，一路信号输出到视频监视器显示，一路信号输入计算机进行数据处理。CCD 成像单元较慢的响应速度限制了成像椭偏仪在实时监测方面的应用。为了克服这一限制，Chien - Yuan Han 等利用频闪照明技术代替传统照明方式，成功研制了快速成像椭偏仪。与传统椭偏仪相比，由于 CCD 器件干扰了样品反射光的偏振态，且有很强的本底信号，成像椭偏仪的系统误差因素增多，使用前必须仔细校准。探测光与样品相互作用时，若样品是各向同性的，探测光的p分量和s分量各自进行反射，若各向异性，则探测光与样品相互作用后还将会发生光的 p 分量和 s分量的相互转化。标准椭偏仪只考虑探测光的 p 分量和 s 分量各自的反射情况，所以只能用于测量各向同性样品的参量，对于各向异性的样品，需使用广义椭偏仪。国内椭偏技术的研究始于20世纪70年代。70年代中期，我国第一台单波长消光椭偏仪TP-75 型由中山大学莫党教授等设计并制造。1982年，旋转检偏器式波长扫描光度型椭偏仪( TPP-1 型) 也得以问世。随后在80年代中后期西安交通大学研制出了激光光源椭偏仪，同期实现了椭偏光谱仪的自动化。复旦大学的陈良尧教授于1994年研制出了一种同时旋转起偏器和检偏器的新型全自动椭偏仪。该类型椭偏仪曾成功实现商业化，销售给包括德国在内的多家国内外单位使用。1998年，中国科学院上海技术物理研究所的黄志明和褚君浩院士等人研制出了同时旋转起偏器和检偏器的红外椭圆偏振光谱仪。2000年，中国科学院力学所靳刚研究员研制出了我国第一台椭偏光显微成像仪。该仪器可以实现纳米级测量和对生物分子动态变化及其相互作用进行实时观测。2000 年，复旦大学陈良尧和张荣君等人研制出了基于双重傅里叶变换的红外椭偏光谱系统。2013年华中科技大学张传维团队成功研发出椭偏仪原型样机。2014年，华中科技大学的刘世元教授等人使用穆勒矩阵椭偏仪测试了纳米压印光刻的抗蚀剂图案，同时还检测了该过程中遇到的脚状不对称情况，其理论和实验结果都表明该仪器具有良好的敏感性。2015年，国内首台商品化高端穆勒矩阵椭偏仪终于成功面世。主流厂商企业名称国内睿励科学仪器合能阳光复享光学量拓科技赛凡光电武汉颐光科技国外Accurion GmbHK-MacAngstrom Advanced瑟米莱伯J.A.WoollamHORIBAPhotonic LatticeAngstrom Sun大塚电子GaertnerFilm SenseHolmarc Opto-MechatronicsOnto Innovation Inc.AQUILAPARISA TECHNOLOGYDigiPol TechnologiesSentech Instruments海洋光学 以上，就是小编为大家整理的椭偏仪知识大全，附上部分市场主流厂商信息，更多仪器，请点击进入“椭偏仪”专场。 找靠谱仪器，就上仪器信息网【选仪器】栏目。它是科学仪器行业专业导购平台，旨在帮助仪器用户快速找到需要的仪器设备。栏目囊括了分析仪器、实验室设备、物性测试仪器、光学仪器及设备等14大类仪器，1000余个仪器品类。

项目编号：清设招第2022344号项目名称：清华大学高精度光谱椭偏仪采购项目预算金额：120.0000000 万元（人民币）采购需求：包号名称数量是否允许进口产品投标01高精度光谱椭偏仪1套是设备用途介绍：拟采购的椭偏仪设备将应用于测量各类薄膜的膜厚及光学参数（n，k），对特殊结构的材料具有光学性能分析能力。简要技术指标：Psi和Delta精确度测量：直射测量空气（Psi = 45° Delta = 0°），满足：Ψ≤45°±0.02°，Δ≤0°±0.02°(1.5-5eV)；光谱范围覆盖190– 2000nm；入射角：自动量角器，角度可从40°到90°变化，最小步进为0.02°。合同履行期限：合同签订后7个月内交货本项目( 不接受 )联合体投标。

基本信息 关键内容： 椭偏仪 开标时间： 2022-01-24 14:30 采购金额： 155.00万元 采购单位： 华南理工大学 采购联系人： 文老师 采购联系方式： 立即查看 招标代理机构： 广东志正招标有限公司 代理联系人： 李小姐 代理联系方式： 立即查看 详细信息 ZZ0211031 多功能椭圆偏振仪采购公告 广东省-广州市-天河区 状态：公告 更新时间： 2021-12-31 招标文件: 附件1 附件： /ECP/view/srplatform/upload/attachmentAjaxFile5.jsp 项目概况 华南理工大学多功能椭圆偏振仪采购项目招标项目的潜在投标人应通过链接http://www.zztender.com/获取招标文件，并于2022年1月24日14点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：ZZ0211031 项目名称：华南理工大学多功能椭圆偏振仪采购项目 预算金额：155万元（人民币） 最高限价（如有）：155万元（人民币） 采购需求： 1、 标的名称：多功能椭圆偏振仪 2、 标的数量：1套 3、 简要技术需求或服务要求： 1） 购置具备水平入射面构造，入射角范围覆盖20～90°，波长范围覆盖193～2500 nm，可实现4*4全穆勒矩阵测量，并配备控温样品台的椭圆偏振测试设备，详见“招标需求”部分。 2） 本项目为科研仪器设备采购。 3） 经政府采购管理部门同意，本项目（多功能椭圆偏振仪）允许采购本国产品或不属于国家法律法规政策明确规定限制的进口产品。 4、 其他：/ 合同履行期限：自合同签订起至履约结束之日止 本项目（不接受）联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目不属于专门面向中小企业采购的项目。 3.本项目的特定资格要求： （1） 应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件，提供以下材料： 1）提供最新的投标人营业执照（或事业单位法人证书，或社会团体法人登记证书，或执业许可证）副本复印件；若以不具有独立承担民事责任能力的分支机构投标，须取得具有法人资格的总公司的授权书，并提供总公司营业执照副本复印件；如投标人为自然人的需提供自然人身份证明。 2）投标人应当具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度，提供以下证明之一： ①提供2020年年度审计报告或企业所得税年度汇算清缴报告（适用于在上一年度前成立的法人或其他组织）； ② 2021年任一季度或任一月的财务报表，内容含盖资产负债表和利润表和现金流量表（适用在上一年度或本财务年度成立的法人或其他组织）； ③银行出具的资信证明（适用于法人或其他组织）； ④中国人民银行出具的个人信用报告（适用于自然人）。 3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力，提供签署及盖章合格的资格声明函。 4）提供2021年任意一个月的依法缴纳税收的证明（如纳税凭证）复印件，如依法免税的，应提供相应文件证明其依法免税；（其中税种不能为社会保险基金）；投标人成立不满三个月的，可不提供缴纳税收的证明。 5）提供2021年任意一个月的依法缴纳社会保险的证明（如缴费凭证）复印件，如依法不需要缴纳社会保障资金的，应提供相应文件证明其依法不需要缴纳社会保障资金；投标人成立不满三个月的，可不提供缴纳社会保险的证明。 6）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录，提供签署及盖章合格的资格声明函。重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。（较大数额罚款按照发出行政处罚决定书部门所在省级政府，或实行垂直领导的国务院有关行政主管部门制定的较大数额罚款标准，或罚款决定之前需要举行听证会的金额标准来认定） （2） ①未列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商（以开标当日资格审查人员在“信用中国”网站（）、中国政府采购网（）的查询结果为准；处罚期限届满的除外。如“信用中国”网站查询结果显示“没有找到您搜索的企业”或“没有找到您搜索数据”，视为没有上述三类不良信用记录）。②若投标人具有分公司的，其所属分公司有上述不良信用记录的，视同该投标人存在不良信用记录。③若投标人为分公司的，其所属总公司（总所）存在上述不良信用记录的，视同该分公司存在不良信用记录。 （3） 供应商有以下情形之一的，不得参加本项目（同一包组）的投标（提供签署及盖章合格的资格声明函） 1）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一包组投标或者未划分包组的同一招标项目的政府采购活动。如同时参加，则评审时均作无效投标处理。 2）为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。 （4） 本项目不接受联合体投标。 三、获取招标文件 时间：2022年1月1日至2022年1月10日（提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日），每天上午9:00至12:00，下午12:00至17:30（北京时间，法定节假日除外） 地点：链接http://www.zztender.com/ 招标文件获取方式： 步骤一：投标人须在华南理工大学招标中心（新）采购管理与电子招投标系统（网址： http://zbzx.scut.edu.cn:8888/ECP/）进行必要的注册账号并登陆，找到需要投标登记的项目并在线填写获取招标文件资料，投标登记完成后将参与结果截图并发至招标代理机构邮箱（tender@gd.gov.cn），并在邮件正文写清楚报名供应商的名称以及联系方式。否则，投标人将不能进入下一步，由此产生的后果由投标人负责。 步骤二：招标文件于代理机构处线上购标，售后不退。请于2022年1月10日17：30前登录广东志正招标有限公司官网“https://www.zztender.com/”进行操作，从采购公告右侧的“我要购标”入口，相关操作成功后即可下载采购文件，并可在规定的获取采购文件时间段内到采购代理机构现场领取纸质采购文件。（咨询电话020-87554018，李小姐） 售价（元）：￥300.00元，本公告包含的招标文件售价总和。 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 2022年1月24日14点30分（北京时间）（自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止，不得少于20日） 地点：广州市天河区龙怡路117号银汇大厦5楼广东志正招标有限公司会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1. 招标项目的详细内容及技术参数、执行标准：详见“招标需求”部分。 2. 经政府采购管理部门同意，本项目（多功能椭圆偏振仪）允许采购本国产品或不属于国家法律法规政策明确规定限制的进口产品。 3. 采购项目需要落实的政府采购政策：《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库[2020]46号）、《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》(财库[2014]68号)、《三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）、《关于环境标志产品政府采购实施的意见》（财库〔2006〕90号、《节能产品政府采购实施意见》的通知（财库〔2004〕185号）、《财政部 发展改革委 生态环境部 市场监管总局 关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9号）等。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名称：华南理工大学 地址：广州市天河区五山华南理工大学南秀村物资大楼 联系方式：文老师 020-22236003 2.采购代理机构信息 名称：广东志正招标有限公司 地址：广州市天河区龙怡路117号银汇大厦5楼 联系方式：李小姐 020-87554018 85165610 3.项目联系方式 项目联系人：滕小姐、李小姐 电话：020-85165610 广东志正招标有限公司 2022年12月31日 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：椭偏仪 开标时间：2022-01-24 14:30 预算金额：155.00万元 采购单位：华南理工大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：广东志正招标有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 ZZ0211031 多功能椭圆偏振仪采购公告 广东省-广州市-天河区 状态：公告 更新时间： 2021-12-31 招标文件: 附件1 附件： /ECP/view/srplatform/upload/attachmentAjaxFile5.jsp 项目概况 华南理工大学多功能椭圆偏振仪采购项目招标项目的潜在投标人应通过链接http://www.zztender.com/获取招标文件，并于2022年1月24日14点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：ZZ0211031 项目名称：华南理工大学多功能椭圆偏振仪采购项目 预算金额：155万元（人民币） 最高限价（如有）：155万元（人民币） 采购需求： 1、 标的名称：多功能椭圆偏振仪 2、 标的数量：1套 3、 简要技术需求或服务要求： 1） 购置具备水平入射面构造，入射角范围覆盖20～90°，波长范围覆盖193～2500 nm，可实现4*4全穆勒矩阵测量，并配备控温样品台的椭圆偏振测试设备，详见“招标需求”部分。 2） 本项目为科研仪器设备采购。 3） 经政府采购管理部门同意，本项目（多功能椭圆偏振仪）允许采购本国产品或不属于国家法律法规政策明确规定限制的进口产品。 4、 其他：/ 合同履行期限：自合同签订起至履约结束之日止 本项目（不接受）联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目不属于专门面向中小企业采购的项目。 3.本项目的特定资格要求： （1） 应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件，提供以下材料： 1）提供最新的投标人营业执照（或事业单位法人证书，或社会团体法人登记证书，或执业许可证）副本复印件；若以不具有独立承担民事责任能力的分支机构投标，须取得具有法人资格的总公司的授权书，并提供总公司营业执照副本复印件；如投标人为自然人的需提供自然人身份证明。 2）投标人应当具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度，提供以下证明之一： ①提供2020年年度审计报告或企业所得税年度汇算清缴报告（适用于在上一年度前成立的法人或其他组织）； ② 2021年任一季度或任一月的财务报表，内容含盖资产负债表和利润表和现金流量表（适用在上一年度或本财务年度成立的法人或其他组织）； ③银行出具的资信证明（适用于法人或其他组织）； ④中国人民银行出具的个人信用报告（适用于自然人）。 3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力，提供签署及盖章合格的资格声明函。 4）提供2021年任意一个月的依法缴纳税收的证明（如纳税凭证）复印件，如依法免税的，应提供相应文件证明其依法免税；（其中税种不能为社会保险基金）；投标人成立不满三个月的，可不提供缴纳税收的证明。 5）提供2021年任意一个月的依法缴纳社会保险的证明（如缴费凭证）复印件，如依法不需要缴纳社会保障资金的，应提供相应文件证明其依法不需要缴纳社会保障资金；投标人成立不满三个月的，可不提供缴纳社会保险的证明。 6）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录，提供签署及盖章合格的资格声明函。重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。（较大数额罚款按照发出行政处罚决定书部门所在省级政府，或实行垂直领导的国务院有关行政主管部门制定的较大数额罚款标准，或罚款决定之前需要举行听证会的金额标准来认定） （2） ①未列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商（以开标当日资格审查人员在“信用中国”网站（）、中国政府采购网（）的查询结果为准；处罚期限届满的除外。如“信用中国”网站查询结果显示“没有找到您搜索的企业”或“没有找到您搜索数据”，视为没有上述三类不良信用记录）。②若投标人具有分公司的，其所属分公司有上述不良信用记录的，视同该投标人存在不良信用记录。③若投标人为分公司的，其所属总公司（总所）存在上述不良信用记录的，视同该分公司存在不良信用记录。 （3） 供应商有以下情形之一的，不得参加本项目（同一包组）的投标（提供签署及盖章合格的资格声明函） 1）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一包组投标或者未划分包组的同一招标项目的政府采购活动。如同时参加，则评审时均作无效投标处理。 2）为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。 （4） 本项目不接受联合体投标。 三、获取招标文件 时间：2022年1月1日至2022年1月10日（提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日），每天上午9:00至12:00，下午12:00至17:30（北京时间，法定节假日除外） 地点：链接http://www.zztender.com/ 招标文件获取方式： 步骤一：投标人须在华南理工大学招标中心（新）采购管理与电子招投标系统（网址： http://zbzx.scut.edu.cn:8888/ECP/）进行必要的注册账号并登陆，找到需要投标登记的项目并在线填写获取招标文件资料，投标登记完成后将参与结果截图并发至招标代理机构邮箱（tender@gd.gov.cn），并在邮件正文写清楚报名供应商的名称以及联系方式。否则，投标人将不能进入下一步，由此产生的后果由投标人负责。 步骤二：招标文件于代理机构处线上购标，售后不退。请于2022年1月10日17：30前登录广东志正招标有限公司官网“https://www.zztender.com/”进行操作，从采购公告右侧的“我要购标”入口，相关操作成功后即可下载采购文件，并可在规定的获取采购文件时间段内到采购代理机构现场领取纸质采购文件。（咨询电话020-87554018，李小姐） 售价（元）：￥300.00元，本公告包含的招标文件售价总和。 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 2022年1月24日14点30分（北京时间）（自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止，不得少于20日） 地点：广州市天河区龙怡路117号银汇大厦5楼广东志正招标有限公司会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1. 招标项目的详细内容及技术参数、执行标准：详见“招标需求”部分。 2. 经政府采购管理部门同意，本项目（多功能椭圆偏振仪）允许采购本国产品或不属于国家法律法规政策明确规定限制的进口产品。 3. 采购项目需要落实的政府采购政策：《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库[2020]46号）、《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》(财库[2014]68号)、《三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）、《关于环境标志产品政府采购实施的意见》（财库〔2006〕90号、《节能产品政府采购实施意见》的通知（财库〔2004〕185号）、《财政部 发展改革委 生态环境部 市场监管总局 关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9号）等。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名称：华南理工大学 地址：广州市天河区五山华南理工大学南秀村物资大楼 联系方式：文老师 020-22236003 2.采购代理机构信息 名称：广东志正招标有限公司 地址：广州市天河区龙怡路117号银汇大厦5楼 联系方式：李小姐 020-87554018 85165610 3.项目联系方式 项目联系人：滕小姐、李小姐 电话：020-85165610 广东志正招标有限公司 2022年12月31日