单晶和多晶少数载流子寿命在线测试设备 MDPlinescan-
单晶和多晶少数载流子寿命在线测试设备 MDPlinescan-

¥100万 - 150万

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弗莱贝格仪器

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MDPlinescan-

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欧洲

  • 银牌
  • 第5年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

产地类别: 进口

少子寿命测量范围: 20ns到几十ms

贯穿深度: 500μm

样品尺寸: 超过50×50 mm2

电阻率测量范围: 0.2–>10³ Ohm cm

测试材料: 硅、化合物半导体 、 氧化物、 宽带隙材料、 钙钛矿 、外延层


应用材料范围:

●  硅|化合物半导体|氧化物|宽带隙材料|钙钛矿|外延层

无接触且非破坏的少子寿命成像测试:(μPCD/MDP(QSS),光电导率,电阻率和p/n型检测。

●  符合半导体行业标准 SEMI PV9-1110

可提供灵活OEM方案,用于材料生长和不同外延层工艺少子寿命测试



MDPlinescan单晶和多晶少数载流子寿命在线测试设备优势介绍:

●  灵敏度: 对外延层监控和不可见缺陷检测,具有可视化测试的

●  高分辨率

●  测试速度: 1s内完成对156mm的线扫描,与常规生产速度相匹配

●  寿命测试范围: 20ns到几十ms

●  测试能力: 从切割的晶圆到所有工艺中的样品

●  可靠性: 灵活的OEM方案,具有更高的可靠性,使用时间> 99%

●  重复性: > 99.5%


技术参数

售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 安装时现场培训

免费仪器保养:

保内维修承诺: 根据具体仪器型号确定

报修承诺: 24小时内相应

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