MDpicts 微波探测光诱导电流瞬态谱仪
MDpicts 微波探测光诱导电流瞬态谱仪

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弗莱贝格仪器

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MDpicts

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欧洲

  • 银牌
  • 第5年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

MDpicts微波探测光诱导电流瞬态谱仪
 

灵敏度:半导体材料电学缺陷分析的高灵敏度
温度范围:液氮(77k)至500k。可选:液氦(4k)或更高温度
衰减常数范围:20纳秒到几毫秒
沾污检测:电学陷阱基本性能确定:激活能和陷阱的俘获截面,受温度和注入水平影响的少子寿命参数等
重复性:> 99.5%,测量时间:< 60分钟。液氮消耗:2升/次
灵活性:从365 nm 到1480nm,根据不同材料选择不同波长激发光源
可访问性:基于IP的系统允许来自世界任何地方的远程操作和技术支持

 

                      图1. 与温度有关的载流子发射瞬态

图1. 与温度有关的载流子发射瞬态

           图2.不同缺陷的评价                      图3.Arrhenius曲线图
 




从Arrhenius斜率(图3)可以确定活化能。利用这种新型MDPpicts设备,可在20~500k范围内测量温度依赖性的瞬态光电导。Si, GaAs, InP, SiC和其他很多半导体材料已成功采用了这种方法进行研究。  

   

                                        图4. 不同温度的Cz-Si晶圆片的MD-PICTS图谱

                                                                                        


                                                                                                                                                                                                                                                                       


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  • 半导体材料少数载流子寿命不仅可以表征半导体材料的质量,还可以评价器件制造过程中的质量控制,如集成电路公司利用载流子寿命来表征工艺过程的金属沾污程度,并研究造成器件性能下降原因。 Freiberg Instruments公司长期致力于开发半导体检测技术,提供不同需求的少子寿命检测设备。

    半导体 2020-07-14

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售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 安装时现场培训

免费仪器保养:

保内维修承诺: 根据具体仪器型号确定

报修承诺: 24小时内相应

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