产地类别: 进口
少子寿命测量范围: 20ns到几十ms
贯穿深度: 500μm
样品尺寸: 小50×50 mm2 ,大12”或210×210mm2
电阻率测量范围: 0.2–>103 Ohm cm
测试材料: 硅,化合物半导体,氧化物,宽带隙材料,钙钛矿,外延层
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应用材料范围:
● 硅|化合物半导体|氧化物|宽带隙材料|钙钛矿|外延层
无接触且非破坏的少子寿命成像测试:(μPCD/MDP(QSS),光电导率,电阻率和p/n型检测。
● 符合半导体行业标准 SEMI PV9-1110
MDPspot单点少子寿命测试设备产品特性:
● 灵敏度: 对外延层监控和不可见缺陷的检测,具有可视化测试的高分辨率
● 寿命测试范围: 20 ns到几十ms
● 测试能力: 从切割的晶圆片到所有工艺中的样品
● 可靠性: 模块化紧凑型台式检测设备,正常运行时间> 99%
● 重复性: > 99.5%
● 灵活性: 适用于晶片和晶块,高度可进行调整
● 辅助功能: 基于IP的系统,允许在任何地方进行远程操作和技术支持
技术参数
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 安装时现场培训
免费仪器保养: 无
保内维修承诺: 根据具体仪器型号确定
报修承诺: 24小时内相应
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