MDPinline ingot 晶锭在线面扫检测仪
MDPinline ingot 晶锭在线面扫检测仪

¥80万 - 100万

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弗莱贝格仪器

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MDPinline ingot

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欧洲

  • 银牌
  • 第5年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数
MDPinline ingot系统是世界上最快的多晶硅晶锭电学参数特性测量工具。它是专为高通量工厂的单块晶锭测试而研发的。每块晶锭可以在不到一分钟时间里测量其四面。所有的图谱(寿命,光电导率,电阻率)都是同时测量的。 


该系统包括一个数据库和统计数据评估,可用于自动确定精确的切割位置,以提高成品率。用于材料质量监控,炉选择和工艺改进。

性能

无接触破坏的半导体特性
少数载流子寿命的检测能力                                                                          

先进的灵敏度让所有隐形缺陷可视化
自动切割标准定义
获取体材料性质的稳态测量
完全自动化的内联集成
对太阳能级硅錠进行扫描,1mm分辨率
测量时间:1分钟内完成晶锭的面扫描,可自动测量所有4个面

                                                Automated determination of cut off criteria 


优势

  • 先进光伏晶圆厂多晶硅晶锭在线特性快速检测的世界记录。

  • 在1分钟内完成分辨率大于1mm成像扫描测试,同时可完成电导类型转变的空间分布扫描和电阻率的

  • 线扫描测试。客户定义的切割标准可以传输到晶圆厂数据库,该数据库允许对下一代光伏晶圆厂进行完全自动化的材料监控。

  • 对炉料进行质量控制和炉况监测,并进行失效分析。特殊的“underneath the surface”测量技术大大减少了表面重组造成的数据失真。



                                                                             Recognition of cracks, chunks etc.                                                                                       Automated cut criteria definition, lifetime map 


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 安装时现场培训

免费仪器保养:

保内维修承诺: 根据具体仪器型号确定

报修承诺: 24小时内相应

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