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LE-103PV激光型椭偏仪基于椭圆偏振测试技术,通过测试线偏振光经过样品反射后偏振态振幅和相位的改变,建立样品相应光学模型,计算出薄膜的厚度、折射率和消光系数。
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LE-103PV是Semilab针对光伏市场推出的一款低成本、高集成度的革新型产品,主要应用于测试具有绒面结构的晶体硅减反射膜的厚度和光学特性。测试软件操作简单、界面友好、所使用的光学模型与Semilab全光谱椭偏仪丰富的数据库相兼容,方便用户根据实际测试需求建立专ye的测试菜单。 |
可测量减反射膜厚度、折射率和消光系数等光学特性 |
稳定、可自动校准的集成光路 |
优化设计的156mm多晶和单晶测试平台,方便用户转换单晶和多晶测量 |
自动变换入射角的设计提高了测试精度,并可实现表面特征雾度(Haze)的测试 |
采用旋转补偿器测量Psi(0~90°)和Delta(0~360°),可提供更高的测量灵敏度,同时可计算由粗糙表面引起的退偏系数 |
聚焦微光斑系统优化了反射信号的采集 |
可集成到在线测量系统,实现快速的在线监控 |
测试软件兼容PVECS |
太阳能电池片减反射膜的厚度、折射率和消光系数测试 |
二氧化硅等介质膜的厚度、折射率和消光系数测试 |
透明材料的光度学测试 |
激光波长: 632.8nm He-Ne激光器 |
测量时间: 100ms-2sec |
膜厚测量范围: 2nm-6000nm(基于SiO2) |
厚度测试精度: 0.01nm @120nm SiO2 on Si |
折射率测试精度:0.0005 @120nm SiO2 on Si |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 技术人员现场培训
免费仪器保养: 2个月1次
保内维修承诺: 软件免费重装,硬件维修
报修承诺: 24小时到达
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