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专为VUV 测量设计，整个系统处于真空状态，无氧气吸收。具备高度准确性的超快测量速度；快速样品室抽真空能力，方便快速更换样品；氮气消耗量少。
产品特点
50KHz 高频PEM 相位调制技术
45 秒内完成充氮气
2 分钟内完成样品室抽真空
8 分钟内完成光谱全谱范围内测量
两种工作模式：氮气清洗结合抽
真空、连续氮气清洗
光谱范围：147nm~850nm；147nm~2100nm
重点应用领域
超薄膜
157nm 光刻新材料
有机材料、高分子材料
高k 材料：HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz
抗反射涂层
半导体和介电材料电子跃迁
MgF2、CaF2、LaF3
HORIBA UVISEL Plus研究级经典型椭偏仪
型号：UVISEL 面议
HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪
型号：Smart SE 面议
在线椭偏仪 In-situ series
型号：In-situ series 面议
HORIBA Auto SE一键式全自动快速椭偏仪
型号：Auto SE 面议UVISEL相位调制型椭圆偏振光谱仪是基于25年经验研制而成的杰作，它具有无可比拟的高精度、高分辨率、优异的信噪比、长期的稳定性（UVISEL所实现的长期稳定性无需频繁校准），是纳米/微米级结构研究的理想工具。
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HORIBA椭偏仪UVISEL 2 VUV报价含票含运吗？
HORIBAUVISEL 2 VUV有现货吗？
