PD-Xpadion 是 HORIBA 光掩膜颗粒检测产品线的最新一代产品。基于创新的模块化平台设计,PD Xpadion可以满足光刻和掩膜生产过程中掩膜和薄膜检测的各种需求。通过 Fab 自动化与 HORIBA 的整套核心技术相结合,允许用户扩展 PD Xpadion 系统,不仅包括颗粒检测,还包括通过拉曼分析进行颗粒表征,膜膜厚度和均匀性,以及膜健康监测工具。
高机械强健度:平均故障间隔时间高达 1500 个小时;可以保证98%以上的正常运行时间。
高灵活性:可以实现 5 寸到 9 寸的光掩膜扫描;兼容 ASML, NIKON,CANON 等一系列厂商的光罩盒;可以支持不同的光掩膜承载手段。
高性能:可以实现光掩膜三个面的扫面(玻璃面,薄膜面以及图形面);单面的扫面时间仅需要 4 分钟;标配 0.5 um 的精度;良好的误检过滤算法。
高模块化:可以连接 OHT/EFEM 等自动化设备;可以连接颗粒去除系统(见下图);可以增加量测手段来实现多种不同应用的表征。
颗粒去除系统:RP-1
精度规格:0.5 um/0.35 um/0.1 um
吞吐量:12 min/片 (上下两面扫描)
环境光罩尺寸:5寸-9寸
正常运行时间:98%
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