产地类别: 进口
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仪器介绍:
在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。
技术参数:
·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化
主要特点:
将激发和探测头引入生产设备,可实现:
· 动态模式:实时监测膜厚变化
· 光谱模式:监测薄膜的界面和组分
HORIBA UVISEL Plus研究级经典型椭偏仪
型号:UVISEL 面议真空紫外椭偏仪
型号:UVISEL 2 VUV 面议HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪
型号:Smart SE 面议HORIBA Auto SE一键式全自动快速椭偏仪
型号:Auto SE 面议Auto SE是一种新型的按键式全自动薄膜测量分析工具,仅需简单的几个按键操作,即可完成全自动测量和分析。仅几秒钟即可完成样品分析,并提供完整的样品堆叠特性报告-包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性。
HORIBA椭偏仪In-situ series的工作原理介绍
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