产地类别： 进口
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北京飞凯曼公司提供光子晶体探测器型椭偏仪。这种光子晶体探测器型的椭偏仪是有日本Photonic Lattice公司首创，并应用到椭偏仪的测试中。日本Photonic Lattice公司在光子晶体的研究和制造领域领先世界，由此开发出的光子晶体探测器型椭偏仪具有测试速度快、测量准确、免维护、价格低廉等特点已经在光学薄膜、半导体薄膜、有机薄膜等领域有着广泛的应用。该椭偏仪可快速准确测量薄膜的厚度和折射率的分布。
相比传统的光谱型椭偏仪，光子晶体探测器型椭偏仪避免了探测器的机械运动。使得测试速度更快、测试更加准确、成本更加低廉。
ME-210型光子晶体探测器型椭偏仪特点：
1） 可用于8英寸样品的3D快速成像
2） 可用于厚度差异小于1nm以内的薄膜的快速和高精度成像
3） 超高速测量，最高速度可达20000点/分钟
4） 超高分辨率的测量，最小面积可达50um2
5） 可进行透明基底上的薄膜的测试
技术规格：
型号 | ME-210/110 | |
重复性精度 | 0.1nm（厚度）, 0.001（折射率） | |
测量速度 | 每分钟1000个点以上 | |
光源 | 636nm 半导体激光器 | |
测量点尺寸 | 0.5mm2 | |
入射角 | 70度 | |
样品尺寸 | 8英寸（可选12英寸） | |
仪器尺寸和重量 | 650x650x1740mm/120kg | |
数据接口 | 千兆以太网（摄像机信号），RS-232C | |
电源 | AC100-240V（50/60Hz） | |
软件 | SE-View | |
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