Semilab SRP170 扩展电阻测试仪

北京飞凯曼科技有限公司提供匈牙利Semilab公司高性能的扩展电阻测试仪（Spreading Resistance Profiling System）。我们提供的扩展电阻测试仪的型号包括SRP170和SRP2100等型号。另外，我们还提供Semilab公司WT-2000型少子寿命测试仪、WT-1200型少子寿命测试仪、SE-2000型全光谱椭偏仪、SE-1000型全光谱椭偏仪、汞CV测试仪等产品。

SRP170型扩展电阻测试仪基于SRP测试技术，该技术是利用特殊的点接触金属探针，沿着样品表面以微小的步进测出半导体材料或器件的每一点的扩展电阻值，由此得到电阻、电阻率和载流子浓度（掺杂杂质浓度）及其分布的一种测试技术。通过对样品以小角度进行研磨形成研磨面的测试，可获得样品纵向的电阻、电阻率和载流子浓度分布。

扩展电阻测试系统是测量半导体材料电阻率分布、多层器件结构的主要技术，可应用在硅、化合物等半导体材料及器件的测试，特别适合于硅晶体材料、外延材料和各类集成电路器件，不仅可以测试半导体材料，如原生硅晶体、杂质扩散晶体、离子注入晶体和外延晶体（包括蓝宝石衬底等异质衬底）的电阻率及其分布，还可以测试各种器件的电阻率分布，可以分析器件结构，优化集成电路工艺，分析器件失效的机理。

产品特点

可对探针状态进行手动修正

手动完成校准曲线

可选配研磨角自动测量组件（BAM）

分析软件简单易用， 内含各种分析模式

主要应用

扩散工艺监控

离子注入工艺监控

外延层厚度和载流子浓度测试

PN结及其他器件结构测试及失效分析

氧浓度及其分布测量

实验室，研发

主要技术指标

扩展电阻： 1Ω - 10⁹Ω

电阻率：  10^-4 - 4.0 *10⁴ Ω.cm

载流子浓度： 10¹¹ - 10²¹ cm^-3

纵向结深分辨率： 5nm