在线椭偏仪 In-situ series
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HORIBA

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In-situ series

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欧洲

  • 银牌
  • 第13年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
该产品已下架
核心参数

仪器介绍:
在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。
 
技术参数:
·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化
 
主要特点:
将激发和探测头引入生产设备,可实现:
· 动态模式:实时监测膜厚变化
· 光谱模式:监测薄膜的界面和组分
 

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