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EM15纳米膜厚仪是基于量拓科技先进的椭偏测量原理，针对纳米薄膜的厚度常规测量推出的一款专用仪器。
EM15适用于测量块状材料基底上1-3层纳米薄膜的样品，可对其中的一层或两层薄膜厚同时进行测量。
EM15还可用于同时测量块状材料的折射率n和消光系数k。
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项目
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技术指标
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仪器型号
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EM15
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光源
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激光器
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膜厚测量重复性（1）
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0.5nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层)
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折射率测量重复性（1）
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5x10-3 (对于Si基底上100nm的SiO2膜层)
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单次测量时间
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典型3s
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探测光束直径
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1-2nm |
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仪器重量（净重）
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25kg
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入射角度
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40°-90°可手动调节，步进5°
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样品方位调整
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Z轴高度调节：±6.5mm
二维俯仰调节：±4°
样品对准：光学自准直和显微对准系统
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样品台尺寸
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平面样品直径可达Φ200mm
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最大的膜层范围
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透明薄膜可达4000nm
吸收薄膜则与材料性质相关
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最大外形尺寸
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887 x 332 x 552mm (入射角为90º时)
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配件
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水平XY轴调节平移台
真空吸附泵
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软件
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1. 中英文界面可选；
2.多个预设项目供快捷操作使用；
3.单角度测量/多角度测量操作和数据拟合；
4.方便的数据显示、编辑和输出；
5.丰富的模型和材料数据库支持。
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量拓科技作为专业的高端椭偏仪器制造商，荣获国家“高新技术企业”、“ISO9001国际质量体系认证”、“中关村高新技术企业”、“海淀区创新企业”等资质，并获得“第五届北京发明创新大赛”金奖，以及入围“2011年度光伏行业十大创新设备供应商”等殊荣。
